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단결정 잉곳을 성장하는 성장장치에 장착되어 고체원료를 공급하는 고체원료 공급장치에 있어서,
상기 고체원료가 적재되는 몸체;
상기 몸체의 상단에 탈착 가능하게 마련된 상부 덮개;
상기 고체원료의 낙하를 막도록 상기 몸체의 하단에 탈착 가능하게 마련된 하부 덮개; 및
상기 하부 덮개를 상기 몸체에 대해 상대적으로 상하 이동 가능하도록 하부 덮개에 연결된 연결수단;을 포함하고,
상기 상부 덮개는, 그 중앙에 상기 연결수단이 삽입되도록 관통공이 형성된 프레임 및 상기 프레임의 상면에 개폐가능하도록 손잡이가 마련된 개폐부를 구비하고, 상기 프레임의 상면의 일부분이 폐쇄되며, 나머지 부분이 개폐가능하도록 형성된 것을 특징으로 하는 고체원료 공급장치
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제4항에 있어서,
상기 프레임의 내측 둘레를 따라 충격방지용 팁이 마련된 것을 특징으로 하는 고체원료 공급장치
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제6항에 있어서,
상기 팁은 테프론 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 고체원료 공급장치
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제4항에 있어서,
상기 프레임 중앙에 관통된 관통공의 둘레에 프레임의 파손을 방지하기 위한 가이드부재가 마련된 것을 특징으로 하는 고체원료 공급장치
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제8항에 있어서,
상기 가이드부재는 테프론 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 고체원료 공급장치
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제4항 및 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 개폐부는 스테인레스 강으로 이루어진 것을 특징으로 하는 고체원료 공급장치
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제10항에 있어서,
상기 연결수단과 탈착 가능하게 결합되는 척부와, 이 척부와 연결되어 고체원료 공급장치를 지지하며 상하 이동시키는 케이블을 포함하는 커넥터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고체원료 공급장치
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제11항에 있어서,
상기 척부가 금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 고체원료 공급장치
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케이블과, 이 케이블의 하단에 차례로 금속 재질의 제1척 및 흑연재질의 제2척이 결합된 시드 커넥터의 상기 제2척을 금속 재질의 제3척으로 교체하는 단계;
상기 시드 커넥터의 제3척에 고체원료 공급장치를 연결하여 단결정 성장장치에 상기 고체원료 공급장치를 장착하고, 상기 고체원료 공급장치로부터 단결정 성장장치에 단결정 성장하고자 하는 고체원료를 공급하는 단계;
상기 단결정 성장장치로부터 상기 고체원료 공급장치를 분리하고 상기 시드 커넥터의 제3척으로부터 상기 고체원료 공급장치를 분리하는 단계;
상기 단결정 성장장치에 공급된 고체원료를 용융시켜 융액을 만드는 단계;
상기 시드 커넥터의 상기 제3척을 상기 제2척으로 교체하는 단계; 및
상기 시드 커텍터의 상기 제2척에 단결정 시드를 연결하고 이 단결정 시드를 상기 융액에 접촉시킨후 인상하여 단결정 잉곳을 성장시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장방법
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제13항에 있어서,
상기 고체원료 공급장치의 상부 덮개가 개폐가능하고,
상기 고체원료 공급장치에 상기 고체원료를 적재할 때에는 상기 상부 덮개를 개방하고, 상기 시드 커넥터의 제3척에 고체원료 공급장치를 연결할 때에는 상기 상부 덮개를 폐쇄하며, 상기 고체원료 공급장치로부터 상기 단결정 성장장치로 고체원료를 공급할 때에는 상기 상부 덮개를 개방하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장방법
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