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(a) 제1도전형의 불순물이 도핑된 실리콘 기판을 준비하는 단계;
(b) 나노 사이즈의 금속 입자가 함유된 나노 잉크를 상기 기판 표면에 균일하게 도포하는 단계;
(c) 상기 나노 잉크가 도포된 실리콘 기판을 건조시켜 상기 금속 입자를 기판 표면에 부착시키는 단계; 및
(d) 상기 금속 입자가 부착된 실리콘 기판을 습식 식각하여 실리콘 기판 표면에 나노 사이즈의 요철을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 촉매를 이용한 태양전지의 습식 텍스처링 방법
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제1항에 있어서, 상기 (b) 단계는,
스크린 인쇄, 스프레이 코팅 및 스핀 코팅을 이용하여 나노 잉크를 도포하는 단계임을 특징으로 하는 금속 촉매를 이용한 태양전지의 습식 텍스처링 방법
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제1항에 있어서, 상기 (d) 단계는,
HF, H2O2 및 H2O가 혼합된 습식 에천트를 이용하여 습식 식각하는 단계임을 특징으로 하는 금속 촉매를 이용한 태양전지의 습식 텍스처링 방법
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제3항에 있어서, 상기 (d) 단계에서,
상기 습식 에천트의 조성비를 조절하여 나노 사이즈로 형성된 요철의 깊이를 조정하는 것을 특징으로 하는 금속 촉매를 이용한 태양전지의 습식 텍스처링 방법
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제1항에 있어서,
상기 나노 잉크는 나노 사이즈의 금속 입자, H2O 및 계면 활성제인 폴리비닐피롤리돈(polyvinylpyrrolidone; PVP)을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 촉매를 이용한 태양전지의 습식 텍스처링 방법
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제1항에 있어서,
상기 금속 입자는 직경이 100 내지 300 ㎚인 것을 특징으로 하는 금속 촉매를 이용한 태양전지의 습식 텍스처링 방법
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제1항에 있어서,
상기 금속 입자는 Au, Ag, Cu, Al, Pt 및 Pd 중 선택된 어느 하나 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 금속 촉매를 이용한 태양전지의 습식 텍스처링 방법
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제7항에 있어서, 상기 (d) 단계 이후,
상기 습식 식각 후 잔류하는 금속 입자를 제거하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 촉매를 이용한 태양전지의 습식 텍스처링 방법
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제8항에 있어서, 상기 금속 입자 제거 단계는,
상기 잔류하는 금속 입자가 Au인 경우, I(iodine) 및 KI(potassium iodine)가 혼합된 수용액을, 상기 잔류하는 금속 입자가 Ag인 경우, Nitrate 계열(NO32-)의 수용액을, 상기 잔류하는 금속 입자가 Cu인 경우, Bromide 계열, Chloride 계열, Nitrate 계열 및 sulfate 계열의 수용액 중 선택된 어느 하나 또는 이들의 혼합된 수용액을, 상기 잔류하는 금속 입자가 Al인 경우, H2SO4 및 HNO3가 혼합된 수용액을, 상기 잔류하는 금속 입자가 Pt 또는 Pd인 경우, Chloride 계열 및 Nitrate 계열의 수용액 중 선택된 어느 하나 또는 이들의 혼합된 수용액을 사용하여 진행하는 것을 특징으로 하는 금속 촉매를 이용한 태양전지의 습식 텍스처링 방법
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