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백 콘택 태양전지의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015051414
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요약 백 콘택 태양전지 후면의 p형 층 및 n형 층 형성을 위한 패턴 형성 시, 포토리소그래피(photolithography)와 같은 복잡한 공정 대신 레이저 공법을 사용함으로써 그 공정이 간소화되고 제조 원가 또한 절감되는 백 콘택 태양전지의 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 기판 후면에 형성되는 제1전도성 층 및 제2전도성 층을 갖는 백 콘택 태양전지(Back Contact Solar Cell)의 제조 방법에 있어서, 제1전도형을 갖는 상기 기판의 전면과 후면에 표면 패시베이션(passivation)을 위한 산화물층을 형성시키는 단계; 및 상기 기판 후면에 형성된 산화물층 중 적어도 일부에 레이저를 조사하여 상기 제1전도형 층 형성을 위한 패턴 또는 상기 제2전도형 층 형성을 위한 패턴 중 적어도 하나의 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 백 콘택 태양전지의 제조 방법이 제공된다. 산화물층, 패시베이션, 레이저, 포토리소그래피(photolithography)
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/0216 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020080016725 (2008.02.25)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1155343-0000 (2012.05.25)
공개번호/일자 10-2009-0091456 (2009.08.28) 문서열기
공고번호/일자 (20120611) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.20)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김화년 대한민국 경기도 부천시 소사구
2 윤주환 대한민국 경기도 부천시 원미구
3 김종환 대한민국 경기도 성남시 분당구
4 김범성 대한민국 경기도 안양시 동안구
5 정일형 대한민국 경기 안양시 동안구
6 김진아 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박병창 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 *, 동주빌딩 *층 팍스국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0136387-22
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0219337-88
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0677801-82
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0555525-38
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0933839-89
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0933842-16
10 등록결정서
Decision to grant
2012.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0251957-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
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번호 청구항
1 1
기판 후면에 형성되는 제1전도형 층 및 제2전도형 층을 갖는 백 콘택 태양전지(Back Contact Solar Cell)의 제조 방법에 있어서, 제1전도형을 갖는 상기 기판의 전면 및 후면에 각기 표면 패시베이션(passivation)을 위한 전면 산화물층 및 후면 산화물층을 형성시키는 단계; 상기 후면 산화물층의 일부에 레이저를 조사하여 상기 제2전도형 층 형성을 위한 패턴을 형성하는 단계; 상기 제2전도형 층 형성을 위한 패턴에 제2전도형 물질을 확산시켜 상기 제2전도형 층을 형성하는 단계; 상기 후면 산화물층에 레이저를 조사하여 상기 제2전도형 층을 위한 패턴과 이격되도록 상기 제1전도형 층 형성을 위한 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1전도형 층 형성을 위한 패턴에 전도형 금속을 형성하여 제1전도형 층을 형성하는 단계; 및상기 기판 후면에 상기 제1전도형 층 및 상기 제2전도형 층에 각기 연결되는 금속 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1전도형 층 형성을 위한 패턴을 형성하는 단계에서는, 상기 제1전도형 층 형성을 위한 패턴과 상기 제2전도형 층 형성을 위한 패턴 사이에 상기 후면 산화물층이 남도록 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는 백 콘택 태양전지의 제조 방법
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3 3
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4 4
제1항에 있어서, 상기 제1전도형 층을 형성시키는 단계는, 스크린 인쇄법(screen printing)에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 백 콘택 태양전지의 제조 방법
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삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 금속 전극을 형성하는 단계는 스크린 인쇄법(screen printing)에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 백 콘택 태양전지의 제조 방법
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서, 상기 레이저 조사에 사용되는 레이저원(laser source)은 그린레이저(green laser)원 또는 Nd/YAG 레이저원인 것을 특징으로 하는 백 콘택 태양전지의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 기판 전면에 반사방지막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 백 콘택 태양전지의 제조 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02257991 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP02257991 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 EP02993707 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
4 EP02993707 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
5 US20110100457 US 미국 FAMILY
6 US20150380575 US 미국 FAMILY
7 US20160111565 US 미국 FAMILY
8 WO2009107920 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 EP2257991 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2257991 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP2257991 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 EP2993707 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
5 EP2993707 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
6 US2011100457 US 미국 DOCDBFAMILY
7 US2015380575 US 미국 DOCDBFAMILY
8 US2016111565 US 미국 DOCDBFAMILY
9 WO2009107920 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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