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계면 활성제를 이용한 실리콘 태양전지의 텍스처링 방법

  • 기술번호 : KST2015051657
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요약 본 발명은 계면 활성제를 이용한 실리콘 태양전지의 텍스처링 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 실리콘 태양전지의 텍스처링 방법은, 실리콘 기판의 상부를 계면 활성제가 첨가된 알칼리 습식 에천트를 이용하여 습식 식각함으로써 실리콘 기판 상부를 텍스처링하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따르면, 실리콘 태양전지의 텍스처링 공정에서 종래에 알칼리 식각 용액에 첨가되었던 IPA(isopropyl-alcohol)를 배제하고, 계면 활성제를 첨가함으로써, 텍스처링 공정의 안정성을 향상시킬 수 있다. 또한, 산성 식각 용액을 이용한 텍스처링 방법에 비해 더 낮은 반사율을 얻을 수 있다.태양전지, 텍스처링, 계면 활성제, 알칼리 습식 에천트
Int. CL H01L 31/0236 (2014.01) H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC
출원번호/일자 1020080027996 (2008.03.26)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1168589-0000 (2012.07.19)
공개번호/일자 10-2009-0102508 (2009.09.30) 문서열기
공고번호/일자 (20120730) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.03)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정주화 대한민국 대전광역시 유성구
2 김성진 대한민국 대전 서구
3 정지원 대한민국 충청남도 천안시 동남구
4 도영구 대한민국 대전광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0219794-71
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2008.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0496734-16
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0283989-60
7 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.05.03 취하 (Withdrawal) 1-1-2010-0284365-69
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0300409-56
9 [우선심사신청 취하]취하(포기)서
[Withdrawal of Request for Accelerated Examination] Request for Withdrawal (Abandonment)
2010.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0301050-37
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0697946-32
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0020063-31
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.01.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0020064-87
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.05.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0261715-89
14 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.05.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2012-0024288-85
15 등록결정서
Decision to grant
2012.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0403673-46
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기계적 손상층을 포함하는 실리콘 기판을 계면 활성제가 첨가된 알칼리 습식 에천트를 이용하여 습식 식각하여 상기 기계적 손상층의 제거와 함께 상기 실리콘 기판의 표면에 텍스처링을 실시하는 단계를 포함하고,상기 기판이 단결정 실리콘 기판이고, 상기 알칼리 습식 에천트는 순수(pure water)의 0
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삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 알칼리 용액은 수산화칼륨, 수산화나트륨 및 수산화암모늄으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 혼합 용액인 것을 특징으로 하는 계면 활성제를 이용한 실리콘 태양전지의 텍스처링 방법
5 5
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1 US07858426 US 미국 FAMILY
2 US08232128 US 미국 FAMILY
3 US20100248408 US 미국 FAMILY
4 US20110027933 US 미국 FAMILY
5 WO2009119995 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
6 WO2009119995 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2010248408 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US2011027933 US 미국 DOCDBFAMILY
3 US7858426 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US8232128 US 미국 DOCDBFAMILY
5 WO2009119995 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
6 WO2009119995 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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