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기판;
상기 기판 상에 배치되는 게이트 전극;
상기 게이트 전극을 덮는 절연층;
상기 절연층상에 배치되는 소오스 전극;
상기 절연층상에 배치되며, 상기 소오스 전극에 이격되는 드레인 전극;
상기 소오스 전극 및 상기 절연층 사이에 개재되는 제 1 절연막;
상기 드레인 전극 및 상기 절연층 사이에 개재되는 제 2 절연막;
상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극 사이에 개재되며, 상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극에 접속되는 반도체층;
상기 소오스 전극의 측면 및 상기 반도체층 사이에 개재되는 제 3 절연막; 및
상기 드레인 전극의 측면 및 상기 반도체층 사이에 개재되는 제 4 절연막을 포함하는 표시장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기판은 플렉서블한 표시장치
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제 1 항에 있어서, 상기 절연층은 고분자 물질을 포함하는 표시장치
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4
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 절연막은 상기 소오스 전극에 포함된 물질의 화합물을 포함하고, 상기 제 2 절연막은 상기 드레인 전극에 포함된 물질의 화합물을 포함하는 표시장치
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5
제 1 항에 있어서, 상기 반도체층은 전도성 고분자 및 탄소 나노 튜브의 합성물질을 포함하는 표시장치
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6
제 1 항에 있어서, 제 1 절연막 및 상기 제 3 절연막은 일체로 형성되고,
상기 제 2 절연막 및 상기 제 4 절연막은 일체로 형성되는 표시장치
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7 |
7
제 6 항에 있어서, 상기 제 3 절연막은 상기 소오스 전극에 포함된 물질의 화합물을 포함하고,
상기 제 4 절연막은 상기 드레인 전극에 포함된 물질의 화합물을 포함하는 표시장치
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8 |
8
기판;
상기 기판 상에 배치되는 게이트 전극;
상기 게이트 전극을 덮는 절연층;
상기 절연층 상에 배치되는 소오스·드레인 전극들; 및
상기 절연층 및 상기 소오스·드레인 전극들 사이에 개재되어, 상기 절연층 및 상기 소오스·드레인 전극들을 결합시키는 결합부재들을 포함하며,
상기 결합부재들은 상기 소오스·드레인 전극에 포함된 물질의 화합물을 포함하는 표시장치
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9
삭제
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10
제 8 항에 있어서, 상기 절연층은 고분자 물질을 포함하며, 상기 소오스·드레인 전극들은 금속을 포함하는 표시장치
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11
제 1 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;
상기 제 1 기판 상에 상기 게이트 전극을 덮는 절연층을 형성하는 단계;
제 2 기판 상에 소오스·드레인 전극패턴을 형성하는 단계;
상기 소오스·드레인 전극패턴을 플라즈마에 노출시켜서, 소오스·드레인 전극 및 상기 소오스·드레인 전극 상에 절연막 패턴을 형성하는 단계;
상기 제 2 기판으로부터 상기 소오스·드레인 전극 및 상기 절연막 패턴을 떼어내어, 상기 절연막 패턴과 상기 절연층을 접합시키는 단계; 및
상기 소오스·드레인 전극들 사이 및 상에 반도체층을 형성하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법
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삭제
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삭제
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제 11 항에 있어서, 상기 소오스·드레인 전극 패턴을 플라즈마에 노출시키는 단계에서,
상기 소오스·드레인 전극 패턴에 등방 또는 이방으로 플라즈마를 분사하는 표시장치의 제조방법
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15
제 11 항에 있어서, 상기 반도체층을 형성하는 단계는
상기 소오스·드레인 전극들 사이 및 상기 소오스·드레인 전극들 상에 탄소나노튜브를 포함하는 고분자 물질층을 형성하는 단계 및
상기 고분자 물질층을 패터닝하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법
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