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우네리 측정 장비 및 측정 방법

  • 기술번호 : KST2015052252
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요약 본 발명은 우네리 측정 장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 글래스 기판의 표면에 미세란 굴곡으로 나타나는 우네리의 종류를 사전에 판별할 수 있는 우네리 측정 장비 및 측정 방법에 관한 것이다.이를 위한 본 발명에 따른 우네리 측정 장비는 외부의 빛을 차단하는 챔버와; 상기 챔버의 내부에서 레이저를 생성하는 광원과; 상기 광원과 평행하게 이격하여 360도 회전이 가능한 스테이지에 안착된 측정 글래스 기판과; 상기 측정 글래스 기판과 평행하게 이격되고, 상기 광원으로부터 조사된 레이저를 이용하여 상기 측정 글래스 기판의 어느 표면에 미세한 굴곡으로 나타나는 우네리가 발생된 것인가를 탐지하는 광 검출기를 포함하는 것을 특징으로 한다.전술한 구성을 가지는 우네리 측정 장비는 우네리의 발생 유무를 탐지하는 것이 아니라, 우네리의 종류 및 측정 글래스 기판의 어느 표면에 우네리가 발생된 것인가를 판별하기 위한 목적으로 사용하는 것을 특징으로 한다.따라서, 상기 측정 글래스 기판의 어느 표면에 우네리가 존재하는가를 사전에 판별하는 것을 통해 생산 수율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
Int. CL G01B 11/30 (2006.01) G01B 11/00 (2006.01) G02F 1/13 (2006.01)
CPC G01B 11/30(2013.01) G01B 11/30(2013.01) G01B 11/30(2013.01) G01B 11/30(2013.01) G01B 11/30(2013.01)
출원번호/일자 1020080052789 (2008.06.04)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1458796-0000 (2014.10.31)
공개번호/일자 10-2009-0126622 (2009.12.09) 문서열기
공고번호/일자 (20141110) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.27)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오금미 대한민국 서울 서대문구
2 김욱성 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2008-0402965-20
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0469087-13
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.03.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.04.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0028027-17
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0296925-48
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.06.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0606409-93
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0606408-47
11 등록결정서
Decision to grant
2014.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0745783-61
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번호 청구항
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외부의 빛을 차단하는 챔버와;상기 챔버의 내부에서 레이저를 생성하는 광원과;상기 광원과 평행하게 이격하여 360도 회전이 가능한 스테이지에 안착된 측정 글래스 기판과;상기 측정 글래스 기판과 평행하게 이격되고, 상기 광원으로부터 조사되어 상기 측정 글래스 기판을 투과한 레이저를 이용하여 상기 측정 글래스 기판의 상부 또는 하부표면에 미세한 굴곡으로 나타나는 우네리의 위치와 종류를 탐지하는 광 검출기를 포함하는 우네리 측정 장비
2 2
제 1 항에 있어서,상기 레이저는 300nm ~ 수mm의 파장대를 가지는 것을 특징으로 하는 우네리 측정 장비
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광원과 측정 글래스 기판과 광 검출기를 포함하는 우네리 측정 장비에 있어서,제논 램프를 이용한 우네리 측정 장비를 통해 상기 측정 글래스 기판에 발생된 우네리의 위치를 확인하는 단계와;상기 우네리가 발생된 상기 측정 글래스 기판을 스테이지를 이용하여 일정 각도로 회전시켜 가면서 상기 광원으로부터의 레이저를 상기 측정 글래스 기판에 조사하는 단계와;상기 측정 글래스 기판을 관통한 상기 레이저를 광 검출기로 탐지하는 단계를 포함하는 우네리 측정 방법
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제 3 항에 있어서,상기 광 검출기는 상기 측정 글래스 기판의 상부 표면에 대응된 우네리에 의한 제 1 굴절 패턴의 발생 유무와, 상기 측정 글래스 기판의 하부 표면에 대응된 우네리에 의한 제 2 굴절 패턴의 발생 유무를 검출하는 것을 통해, 상기 우네리의 종류뿐만 아니라 상기 측정 글래스 기판의 양쪽 표면 중 어느 한쪽 표면에만 발생된 것인가를 판별할 수 있는 것을 특징으로 하는 우네리 측정 방법
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외부의 빛을 차단하는 챔버와;상기 챔버의 내부에서 레이저를 생성하는 광원과;상기 광원과 평행하게 이격되고, 고정식의 스테이지에 안착된 측정 글래스 기판과;상기 측정 글래스 기판과 평행하게 이격되고, 상기 광원으로부터 조사되는 방향이 달라지는 레이저를 따라 이동하면서 상기 측정 글래스 기판의 상부 또는 하부표면에 미세한 굴곡으로 나타나는 우네리의 위치와 종류를 탐지하는 광 검출기를 포함하는 우네리 측정 장비
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우네리가 발생된 측정 글래스 기판을 정렬하는 단계와;상기 측정 글래스 기판의 우네리 발생 지점에, 레이저를 생성하는 광원을 밀착시키는 단계와;상기 측정 글래스 기판의 우네리 발생 지점에 레이저를 조사하여, 상기 우네리에 의한 반사로 산란되는 광량과, 상기 측정 글래스 기판을 투과하는 광량을 광 검출기로 측정하는 단계를 포함하는 우네리 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.