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잉곳절단장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015052461
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요약 절단열에 의해 잉곳이 열팽창됨을 방지할 수 있는 잉곳절단장치 및 방법이 개시된다. 개시된 본 발명에 의한 잉곳절단장치는, 잉곳을 지지하는 지지유닛, 잉곳을 절단하는 절단유닛, 그리고, 잉곳과 절단유닛 상으로 슬러리를 절단유닛의 절단 작업 전에 기공급하는 공급유닛을 포함한다. 여기서, 상기 공급유닛은 상기 잉곳을 지지하는 지지유닛 상으로 슬러리를 공급하여, 잉곳의 절단 전에 잉곳을 히팅시킨다. 이와 같은 구성에 의해, 절단열이 발생되어도 잉곳이 간섭되지 않음으로써, 잉곳을 균일한 평판면을 가지는 웨이퍼로 절단할 수 있다. 잉곳, 절단, 슬라이싱, 슬러리, 히팅, 사전, 지지, 빔.
Int. CL H01L 21/301 (2006.01) B28D 5/00 (2006.01)
CPC B28D 5/007(2013.01) B28D 5/007(2013.01) B28D 5/007(2013.01) B28D 5/007(2013.01)
출원번호/일자 1020080052531 (2008.06.04)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0981254-0000 (2010.09.02)
공개번호/일자 10-2009-0126445 (2009.12.09) 문서열기
공고번호/일자 (20100910) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.06.04)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정병주 대한민국 서울시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2008-0401077-23
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2009-0018849-78
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0083017-28
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2010-0266066-01
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.04.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0266065-55
7 등록결정서
Decision to grant
2010.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0378549-36
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
잉곳의 일부 외주면을 감싸는 지지부재를 구비하여, 상기 잉곳을 이동 가능하게 지지하는 지지유닛; 상기 잉곳을 절단하는 절단유닛; 및 상기 잉곳과 절단유닛 상으로 슬러리를 상기 절단유닛의 절단 작업 전에 기공급하는 공급유닛; 을 포함하며, 상기 공급유닛은 상기 지지부재의 내부에 형성되어, 상기 잉곳의 절단동작 이전에 상기 슬러리를 상기 잉곳 상으로 분배 배출시키는 분배유로를 포함하는 잉곳절단장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 공급유닛은, 상기 잉곳의 절단동작 이전에, 상기 잉곳의 외주면으로 상기 슬러리를 공급하도록 상기 분배유로를 포함하는 제 1 공급부; 및 상기 잉곳의 절단동작 중에, 상기 절단유닛 상으로 슬러리를 공급하는 제 2 공급부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳절단장치
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 지지유닛은, 상기 잉곳의 이동을 지지하는 홀더를 포함하며, 상기 지지부재는 상기 잉곳과 상기 홀더 사이에 설치되어 상기 잉곳을 상기 홀더에 지지시키는 것을 특징으로 하는 잉곳절단장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 분배유로는 상기 지지부재의 길이방향을 따라 형성되며, 상기 지지부재는 상기 슬러리가 유입되는 적어도 하나의 유입구와 상기 잉곳의 길이방향을 따라 복수개 형성되어 상기 슬러리를 배출하는 배출구를 가지는 것을 특징으로 하는 잉곳절단장치
6 6
제 1 항, 제2항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 절단유닛은, 복수의 와이어 소(wire saw); 및 상기 복수의 와이어 소가 권선되는 와이어 가이드; 를 포함하며, 상기 제 2 공급부는 상기 와이어 소로 상기 슬러리를 공급하는 것을 특징으로 하는 잉곳절단장치
7 7
잉곳의 일부 외주면을 감싸는 지지부재를 포함하는 지지유닛에 의해 상기 잉곳이 지지되는 단계; 상기 지지부재의 내부에 형성되는 분배유로를 통해 상기 잉곳의 절단 이전에 슬러리가 공급되어, 상기 잉곳이 히팅되는 단계; 및 상기 히팅된 잉곳이 절단되는 단계; 를 포함하는 잉곳절단방법
8 8
삭제
9 9
제 7 항에 있어서, 상기 절단단계는, 와이어 소(wire saw)에 슬러리가 공급되는 단계; 및 상기 와이어 소를 상기 잉곳이 통과하여 절단되는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳절단방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.