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다층 기판에 있어서,글래스의 기본 조성으로 ZnO, B2O3 및 SiO2와, 글래스의 추가 조성으로 P2O5, TiO2, SnO2, ZrO2, Li2O, Na2O, K2O, Cs2O 중 적어도 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되고, 결정 형성을 위한 결정 핵으로 BaTi2O4, BaFe12O19, α-ZnOB2O3, CaSiO3, Zn2P2O7, Zn2(PO3)2, Lithium metasilicate, β-Silicate, α-eucryptite, Petalite, β-eucryptite, Keatite, β-spodumene, α-spodumene, Ba2TiSi2O8, Sr2TiSi2O8, CaTiSiO5, BaAl2Si2O8, BaAl2Si2O8, ZnAl2O3
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제 1항에 있어서,상기 구속 기판에는 결정 성장을 촉진하기 위한 결정 소스로 Ba, Al, P, Zr, Ti, Li, Ca, Zn, B, Na, Cs, Sr 중 어느 하나 또는 둘 이상이 산화물 형태로 포함되는 다층 기판
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제 1항에 있어서,상기 LTCC 기판은 SiO2-CaO-Al2O3계 유리, SiO2-MgO-Al2O3계 유리, SiO2-B2O3-CaO-R2O계 유리(여기서, R은 Li, Na, K 중 적어도 어느 하나) 중 적어도 어느 하나가 포함되어 형성된 다층 기판
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제 1항에 있어서,상기 LTCC 기판은 필러로써, Al2O3, BaTiO3, TiO2, SiO2, ZrO2, ZrSiO4 중 적어도 어느 하나가 포함되는 다층 기판
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제 1항에 있어서,상기 다층 기판의 중심을 기준으로 상기 다층 기판의 상부 영역과 상기 다층 기판의 하부 영역이 대칭이 되도록 상기 구속 기판과 LTCC 기판이 배치되는 다층 기판
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다층 기판의 제조 방법에 있어서,글래스의 기본 조성으로 ZnO, B2O3 및 SiO2와, 글래스의 추가 조성으로 P2O5, TiO2, SnO2, ZrO2, Li2O, Na2O, K2O, Cs2O 중 적어도 어느 하나 또는 둘 이상이 포함되고, 결정 형성을 위한 결정 핵으로 BaTi2O4, BaFe12O19, α-ZnOB2O3, CaSiO3, Zn2P2O7, Zn2(PO3)2, Lithium metasilicate, β-Silicate, α-eucryptite, Petalite, β-eucryptite, Keatite, β-spodumene, α-spodumene, Ba2TiSi2O8, Sr2TiSi2O8, CaTiSiO5, BaAl2Si2O8, BaAl2Si2O8, ZnAl2O3
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7
제 6항에 있어서,상기 구속 층에는 결정 성장을 촉진하기 위한 결정 소스로 Ba, Al, P, Zr, Ti, Li, Ca, Zn, B, Na, Cs, Sr 중 어느 하나 또는 둘 이상이 산화물 형태로 포함되는 다층 기판 제조방법
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제 6항에 있어서,상기 그린 시트는 SiO2-CaO-Al2O3계 유리, SiO2-MgO-Al2O3계 유리, SiO2-B2O3-CaO-R2O계 유리(여기서, R은 Li, Na, K 중 적어도 어느 하나) 중 적어도 어느 하나가 포함되는 다층 기판 제조방법
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제 6항에 있어서,상기 그린 시트는 필러로써, Al2O3, BaTiO3, TiO2, SiO2, ZrO2, ZrSiO4 중 적어도 어느 하나가 포함되는 다층 기판 제조방법
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10
제 6항에 있어서,상기 다층 기판의 중심을 기준으로 상기 다층 기판의 상부 영역과 상기 다층 기판의 하부 영역이 대칭이 되도록 상기 구속 층과 그린 시트가 배치되는 다층 기판 제조방법
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11
제 6항에 있어서,상기 구속 층과 그린 시트를 소성하는 단계에서, 상기 구속 층은 상기 그린 시트가 용융되기 전에 수축이 완료되는 다층 기판 제조방법
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12
제 6항에 있어서,상기 구속 층과 그린 시트를 소성하는 단계에서, 400~600℃에서 탈지하고 온도를 점진적으로 증가시켜 상기 구속 층이 소결되도록 하고, 온도를 증가시켜 820~990℃에서 상기 그린 시트가 소결되도록 하는 다층 기판 제조방법
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