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상부 기판상에 제 1 전극을 형성하는 단계;상기 제 1 전극상에 유기발광층을 형성하는 단계;상기 유기발광층상에 제 2 전극을 형성하는 단계;상기 제 2 전극상에 보조 전극을 형성하는 단계; 및상기 보조 전극상에 흡습층을 형성하는 단계;상기 흡습층을 산화시키는 단계; 및,상기 상부 기판과 하부 기판을 합착하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 발광표시장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 흡습층을 산화시키는 단계는,상기 흡습층이 형성된 상부 기판을 챔버 내부에 넣는 단계;상기 챔버 내부에 잔류하는 가스를 챔버 외부로 배기시켜 챔버 내부를 진공시키는 단계;상기 챔버 내부에 산소 가스를 주입하여 상기 흡습층을 산화시키는 단계;상기 챔버 내부의 산소 가스를 챔버 외부로 배기시켜 상기 챔버 내부를 진공상태로 만드는 단계; 및,상기 챔버 내부의 온도를 상승시켜 상기 챔버 내부에 잔류하는 산소 가스를 제거하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 발광표시장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 상부 기판과 상기 제 2 전극사이에 개재되며, 화소의 주변을 따라 배치되어 상기 제 2 전극을 화소별로 분리시키는 격벽을 형성하는 단계;상기 각 화소의 상기 제 1 전극상에 배치되어 상기 제 2 전극, 상기 보조 전극 및 상기 흡습층의 일부를 돌출시키는 스페이서를 형성하는 단계; 및상기 하부 기판상에 배치되며, 상기 스페이서에 의해 돌출된 상기 흡습층의 일부와 전기적으로 접촉되는 구동소자를 형성하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 발광표시장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 상부 기판과 상기 제 2 전극사이에 개재되며, 화소의 주변을 따라 배치되어 상기 제 2 전극을 화소별로 분리시키는 격벽을 형성하는 단계;상기 각 화소의 상기 제 1 전극상에 배치되어 상기 제 2 전극 및 상기 보조 전극의 일부를 돌출시키는 스페이서를 형성하는 단계; 및상기 하부 기판상에 배치되며, 상기 스페이서에 의해 돌출된 상기 보조 전극의 일부와 전기적으로 접촉되는 구동소자를 형성하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 발광표시장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 보조 전극은 상기 제 2 전극의 측면을 덮는 것을 특징으로 하는 발광표시장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 보조 전극은 Ag, Cu, Au 및 Hg로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 발광표시장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,산화되기 이전의 흡습층은 Ca, Ba 및 알칼리 금속 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 전극은 Ag, Cu, Au, Li, Ca, Ba, Hg, Li/Al의 이중막, Ca/Al의 이중막, Ba/Al의 이중막, Mg 및 Al의 합금 및 Li와 Al의 합금 중 적어도 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 발광표시장치의 제조방법
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