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고순도 실리콘 회수방법

  • 기술번호 : KST2015052673
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요약 본 발명은 반도체 또는 태양전지 등의 제조 공정 중 발생하는 폐 슬러리에 포함되는 실리콘을 저비용 및 간편한 조작만으로 고순도로 회수할 수 있는 방법으로 상기 폐 슬러리에 포함되는 실리콘카바이드(SiC)를 선택적으로 용해시켜 폐 슬러리로부터 고순도 실리콘(Si)의 회수방법을 제공하고자 한다.폐 슬러리, 실리콘카바이드, 선택적 용해
Int. CL H01L 21/00 (2006.01) B09B 3/00 (2006.01)
CPC H01L 21/02032(2013.01) H01L 21/02032(2013.01) H01L 21/02032(2013.01) H01L 21/02032(2013.01) H01L 21/02032(2013.01)
출원번호/일자 1020080059104 (2008.06.23)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1202009-0000 (2012.11.09)
공개번호/일자 10-2009-0132908 (2009.12.31) 문서열기
공고번호/일자 (20121115) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.17)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문원재 대한민국 대전광역시 서구
2 곽익순 대한민국 대전광역시 서구
3 강정안 대한민국 대전광역시 동구
4 류창석 대한민국 대전광역시 서구
5 최광욱 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0448319-12
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0485820-46
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0193504-42
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.01.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.02.15 수리 (Accepted) 9-1-2012-0009119-49
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0209522-65
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0459344-39
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0459343-94
9 등록결정서
Decision to grant
2012.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0652433-79
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘(Si) 및 실리콘카바이드(SiC)를 포함하는 슬러리로부터 용매를 사용하여 실리콘카바이드를 선택적으로 용해시키는 단계를 포함하는 고순도 실리콘(Si)의 회수방법이며, 상기 용매는 하기 화학식 1로 표시되는 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 화합물을 혼합하고 용융하여 사용하는 고순도 실리콘(Si)의 회수방법:[화학식 1]MaR여기서, a는 1 또는 2이고,M은 알칼리금속 또는 알칼리토금속이다
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 슬러리는 반도체 또는 태양전지의 제조 공정 중에서 발생한 슬러리인 것을 특징으로 하는 고순도 실리콘(Si)의 회수방법
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 슬러리는 철, 구리, 실리콘 절삭유, 분산제 및 증점제 중 1 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 고순도 실리콘(Si)의 회수방법
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 실리콘카바이드를 선택적으로 용해시키는 단계 이전에 유기용제를 이용하여 분산제 및 증점제 성분을 세척하는 단계, 300 ~ 500℃에서 절삭유(Oil)성분을 제거하는 단계, 및 산성 용액을 이용하여 철 및 구리 성분을 용해하여 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고순도 실리콘(Si)의 회수방법
5 5
삭제
6 6
청구항 1에 있어서, 상기 화학식 1의 화합물은 Na2CO3, K2CO3, Li2CO3, Li2BO3, Na2SO4, NaCl, NaF 및 K2SO4로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 고순도 실리콘(Si)의 회수방법
7 7
청구항 1에 있어서, 상기 용매는 슬러리의 중량을 기준으로 하여 10~1000wt%인 것을 특징으로 하는 고순도 실리콘(Si)의 회수방법
8 8
청구항 7에 있어서, 상기 용매는 슬러리의 중량을 기준으로 하여 50~200wt%인 것을 특징으로 하는 고순도 실리콘(Si)의 회수방법
9 9
청구항 1에 있어서, 상기 실리콘카바이드를 선택적으로 용해시키는 단계는 800 ~ 1200℃에서 진행되는 것을 특징으로 하는 고순도 실리콘(Si)의 회수방법
10 10
청구항 7에 있어서, 상기 실리콘카바이드를 선택적으로 용해시키는 단계는 900 ~ 1000℃에서 진행되는 것을 특징으로 하는 고순도 실리콘(Si)의 회수방법
11 11
청구항 1에 있어서, 상기 실리콘카바이드를 선택적으로 용해시키는 단계는 환원성 분위기 또는 불활성 분위기에서 진행되는 것을 특징으로 하는 고순도 실리콘(Si)의 회수방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.