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투명전도막 최적조성 검출방법 및 상기 검출방법에사용되는 증착장치

  • 기술번호 : KST2015052979
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 투명전도막의 최적특성을 찾는 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 1회 증착공정 수행으로 다양한 두께와 조성을 가진 다수개의 박막을 얻고, 얻어진 다수개의 박막을 분석하여 최적의 전기적 특성 및 광학적 특성을 지닌 투명전도막의 두께 및 조성을 손쉽게 검출할 수 있는 투명전도막 최적조성 검출방법 및 상기 검출방법에 사용되는 증착장치에 관한 것이다. 투명전도막, TCO, RF 마그네트론
Int. CL G02F 1/1333 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G02F 1/1309(2013.01) G02F 1/1309(2013.01) G02F 1/1309(2013.01)
출원번호/일자 1020080077083 (2008.08.06)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0981174-0000 (2010.09.02)
공개번호/일자 10-2010-0018358 (2010.02.17) 문서열기
공고번호/일자 (20100910) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.08.06)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태원 대한민국 광주광역시 광산구
2 허기석 대한민국 광주광역시 북구
3 김성대 대한민국 광주광역시 서구
4 박종운 대한민국 광주광역시 광산구
5 이종호 대한민국 광주광역시 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2008-0565435-77
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.10.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2009-0061749-19
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0065301-79
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.04.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0241239-73
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0241218-14
10 등록결정서
Decision to grant
2010.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0367231-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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타겟을 기판에 증착시켜 형성되는 투명전도막의 최적조성을 검출하는 방법에 있어서, 피처리물홀더에 마스크를 배치하는 단계; 상기 마스크 표면과 타겟이 증착되는 기판 표면이 밀착되도록 기판을 상기 마스크 상에 배치하는 단계; 상기 기판에 증착시킬 타겟을 상기 마스크와 대향되고 상기 기판의 양단에 위치하도록 이격시켜 배치된 2개 이상의 스퍼터소스유닛에 배치하는 단계; 상기 피처리물홀더가 고정된 상태에서 증착공정을 수행하는 단계; 및 상기 기판을 상기 마스크로부터 분리하여 얻어진 다수개의 박막을 분석하는 단계;를 포함하는데, 상기 마스크는 상기 기판에 형성시키고자 하는 투명전도막의 패턴을 갖고, 상기 증착공정을 수행하는 단계에서 타겟은 상기 패턴 사이로만 상기 기판에 증착되어 조성과 두께가 다른 다수개의 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 투명전도막의 최적조성검출방법
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제 1 항에 있어서, 상기 스퍼터소스유닛에 배치되는 타겟은 서로 다른 금속산화물인 것을 특징으로 하는 투명전도막의 최적조성검출방법
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6 6
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7 7
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8 8
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.