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유기전계발광 소자 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015053175
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요약 본 발명은 유기전계발광 소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로서, 특히 각 화소에 구비된 다수의 구동 박막 트랜지스터 중에 레이저 스캔 공정을 통해 형성된 활성층에 있어서 레이저가 중복 조사되어 형성된 영역과 단일 조사되어 형성된 영역 간의 특성 차이로 인한 화면의 줄무늬 불량이 발생하지 않는 유기전계발광 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 게이트 라인과 데이터 라인이 서로 교차하여 정의된 다수의 화소가 다수의 수평 화소열을 이루는 기판; 상기 기판의 각 화소의 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 영역에 형성된 스위칭 박막 트랜지스터; 상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되도록 각 화소 내에 형성되며, 활성층, 게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극을 구비하는 구동 박막 트랜지스터; 및 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되도록 각 화소 내에 형성된 유기전계 발광다이오드; 에 의해 달성되며, 상기 다수의 수평 화소열 중에 홀수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향과 짝수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행하다. 이때, 상기 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향은 소스 전극에서 드레인 전극으로의 방향이다.유기전계발광 소자, 레이저, 결정화
Int. CL G09G 3/30 (2006.01) H05B 33/08 (2006.01) H01L 51/50 (2006.01)
CPC H01L 21/02675(2013.01) H01L 21/02675(2013.01) H01L 21/02675(2013.01) H01L 21/02675(2013.01) H01L 21/02675(2013.01)
출원번호/일자 1020080080166 (2008.08.14)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1480839-0000 (2015.01.05)
공개번호/일자 10-2010-0021311 (2010.02.24) 문서열기
공고번호/일자 (20150112) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.08.06)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 곽종욱 대한민국 경상북도 구미시
2 손원소 대한민국 경상북도 구미시
3 정훈주 대한민국 경기도 평택시 중앙*로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0583897-68
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2013-0713117-19
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.06.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0057157-13
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0574617-34
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-1010969-05
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.10.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1010979-51
11 등록결정서
Decision to grant
2014.12.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0875656-31
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
게이트 라인과 데이터 라인이 서로 교차하여 정의된 다수의 화소가 다수의 수평 화소열을 이루는 기판;상기 기판의 각 화소의 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 영역에 형성된 스위칭 박막 트랜지스터;상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되도록 각 화소 내에 형성되며, 활성층, 게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극을 구비하는 구동 박막 트랜지스터; 및상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되도록 각 화소 내에 형성된 유기전계 발광다이오드;를 포함하여 구성되며,상기 다수의 수평 화소열 중에 홀수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향과 짝수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행하며,상기 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향은 소스 전극에서 드레인 전극으로의 방향인 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 다수의 수평 화소열 중에 홀수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층과 짝수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행한 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자
3 3
게이트 라인과 데이터 라인이 서로 교차하여 정의된 다수의 화소가 다수의 수직 화소열을 이루는 기판;상기 기판의 각 화소의 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 영역에 형성된 스위칭 박막 트랜지스터;상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되도록 각 화소 내에 형성되며, 활성층, 게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극을 구비하는 구동 박막 트랜지스터; 및상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되도록 각 화소 내에 형성된 유기전계 발광다이오드;를 포함하여 구성되며,상기 다수의 수직 화소열 중에 홀수 번째 수직 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향과 짝수 번째 수직 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행하며,상기 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향은 소스 전극에서 드레인 전극으로의 방향인 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 다수의 수직 화소열 중에 홀수 번째 수직 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층과 짝수 번째 수직 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행한 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자
5 5
게이트 라인과 데이터 라인이 서로 교차하여 정의된 다수의 화소가 다수의 수평 화소열을 이루는 기판;상기 기판의 각 화소의 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 영역에 형성된 스위칭 박막 트랜지스터;상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되도록 각 화소 내에 형성되며, 활성층, 게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극을 구비하는 구동 박막 트랜지스터; 및상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되도록 각 화소 내에 형성된 유기전계 발광다이오드;를 포함하여 구성되며,상기 다수의 수평 화소열 중에서 홀수 번째 수평 화소열에 있어서 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향과 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행하며,상기 다수의 수평 화소열 중에서 짝수 번째 수평 화소열에 있어서 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향은 홀수 번째 수평 화소열의 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향과 동일하고, 짝수 번째 수평 화소열에 있어서 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향은 홀수 번째 수평 화소열의 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향과 동일하며,상기 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향은 소스 전극에서 드레인 전극으로의 방향인 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 다수의 수평 화소열 중에서 홀수 번째 수평 화소열에 있어서 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층과 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행하며,상기 다수의 수평 화소열 중에서 짝수 번째 수평 화소열에 있어서 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층은 홀수 번째 수평 화소열의 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층과 동일한 방향으로 형성되고, 짝수 번째 수평 화소열에 있어서 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층은 홀수 번째 수평 화소열의 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층과 동일한 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자
7 7
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 서로 종횡으로 교차하여 다수의 화소를 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인을 형성하여 다수의 수평 화소열을 정의하고, 각 화소에는 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되는 구동 박막 트랜지스터를 형성하는 단계; 및상기 구동 박막 트랜지스터 상에 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 유기전계 발광다이오드를 형성하는 단계;를 포함하여 이루어지며,상기 구동 박막 트랜지스터를 형성하는 단계는,기판 상에 비정질 실리콘 층을 형성하는 단계;레이저 빔 스캔 공정을 통해 비정질 실리콘 층을 결정화하여 폴리 실리콘 층을 형성하는 단계; 및상기 폴리 실리콘 층을 패터닝하여 활성층을 형성하되, 상기 다수의 수평 화소열 중에 홀수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향과 짝수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행하도록 하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자의 제조 방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 레이저 빔 스캔 공정은, 레이저 빔이 비정질 실리콘 층의 다수의 소정 면적을 차례로 조사하도록 이루어지며,상기 레이저 빔의 진행 방향은 게이트 라인과 평행한 방향인 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자의 제조 방법
9 9
제 7 항에 있어서, 상기 폴리 실리콘 층을 패터닝하여 활성층을 형성하는 단계에 있어서,상기 다수의 수평 화소열 중에 홀수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층과 짝수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하는 방향으로 형성하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행한 방향으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자의 제조 방법
10 10
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 서로 종횡으로 교차하여 다수의 화소를 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인을 형성하여 다수의 수직 화소열을 정의하고, 각 화소에는 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되는 구동 박막 트랜지스터를 형성하는 단계; 및상기 구동 박막 트랜지스터 상에 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 유기전계 발광다이오드를 형성하는 단계;를 포함하여 이루어지며,상기 구동 박막 트랜지스터를 형성하는 단계는,기판 상에 비정질 실리콘 층을 형성하는 단계;레이저 빔 스캔 공정을 통해 비정질 실리콘 층을 결정화하여 폴리 실리콘 층을 형성하는 단계; 및상기 폴리 실리콘 층을 패터닝하여 활성층을 형성하되, 상기 다수의 수직 화소열 중에 홀수 번째 수직 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향과 짝수 번째 수직 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행하도록 하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자의 제조 방법
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 레이저 빔 스캔 공정은, 레이저 빔이 비정질 실리콘 층의 다수의 소정 면적을 차례로 조사하도록 이루어지며,상기 레이저 빔의 진행 방향은 데이터 라인과 평행한 방향인 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자의 제조 방법
12 12
제 10 항에 있어서, 상기 폴리 실리콘 층을 패터닝하여 활성층을 형성하는 단계에 있어서,상기 다수의 수직 화소열 중에 홀수 번째 수직 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층과 짝수 번째 수직 화소열을 이루는 다수의 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하는 방향으로 형성하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행한 방향으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자의 제조 방법
13 13
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 서로 종횡으로 교차하여 다수의 화소를 정의하는 게이트 라인 및 데이터 라인을 형성하여 다수의 수평 화소열을 정의하고, 각 화소에는 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 스위칭 박막 트랜지스터와 연결되는 구동 박막 트랜지스터를 형성하는 단계; 및상기 구동 박막 트랜지스터 상에 상기 구동 박막 트랜지스터와 연결되는 유기전계 발광다이오드를 형성하는 단계;를 포함하여 이루어지며,상기 구동 박막 트랜지스터를 형성하는 단계는,기판 상에 비정질 실리콘 층을 형성하는 단계;레이저 빔 스캔 공정을 통해 비정질 실리콘 층을 결정화하여 폴리 실리콘 층을 형성하는 단계; 및상기 폴리 실리콘 층을 패터닝하여 활성층을 형성하되, 상기 다수의 수평 화소열 중에서 홀수 번째 수평 화소열에 있어서 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향과 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하도록 하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행하도록 하며, 짝수 번째 수평 화소열에 있어서 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향은 홀수 번째 수평 화소열의 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향과 동일하도록 하고, 짝수 번째 수평 화소열에 있어서 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향은 홀수 번째 수평 화소열의 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 채널 방향과 동일하도록 하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자의 제조 방법
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 레이저 빔 스캔 공정은, 레이저 빔이 비정질 실리콘 층의 다수의 소정 면적을 차례로 조사하도록 이루어지며,상기 레이저 빔의 진행 방향은 게이트 라인과 데이터 라인 중에 어느 하나와 평행한 방향인 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자의 제조 방법
15 15
제 13 항에 있어서, 상기 폴리 실리콘 층을 패터닝하여 활성층을 형성하는 단계에 있어서,상기 다수의 수평 화소열 중에서 홀수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소 중에 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층과 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층 중에 어느 하나는 데이터 라인과 교차하는 방향으로 형성하고 나머지 하나는 데이터 라인과 평행한 방향으로 형성하며, 짝수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소 중에 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층은 홀수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소 중에 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층과 동일한 방향으로 형성하고 짝수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층은 홀수 번째 수평 화소열을 이루는 다수의 화소 중에 홀수 번째 화소의 구동 박막 트랜지스터의 활성층과 동일한 방향으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.