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태양전지 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015053180
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요약 본 발명의 실시예에 따르면, 후면 접촉형 태양전지 및 그 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 태양전지는 제1 도전형을 가지는 결정형 반도체 기판; 상기 기판의 후면에 형성된 후면 전계 영역; 상기 후면 전계 영역과 전기적으로 분리되어 형성된 비접촉 후면 전계 영역; 상기 비접촉 후면 전계 영역 상에 형성되는 패시베이션 영역; 상기 패시베이션 영역 상에 형성된 비결정형 에미터 영역; 상기 후면 전계 영역과 접촉되는 제1 금속 전극; 및 상기 에미터 영역과 접촉되는 제2 금속 전극을 포함한다. 소수 캐리어의 재결합율을 감소시킬 수 있다.
Int. CL H01L 31/0236 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/022441(2013.01) H01L 31/022441(2013.01) H01L 31/022441(2013.01) H01L 31/022441(2013.01) H01L 31/022441(2013.01)
출원번호/일자 1020110006476 (2011.01.21)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0085072 (2012.07.31) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.01.21)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신명준 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 이성은 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 곽계영 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 도영구 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박병창 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 *, 동주빌딩 *층 팍스국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0052799-75
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2016.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-0067906-09
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0042727-56
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0907676-19
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.02.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0161891-19
8 등록결정서
Decision to grant
2017.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0397854-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 도전형을 가지는 결정형 반도체 기판; 상기 기판의 후면에 형성된 국부 후면 전계 영역;상기 국부 후면 전계 영역과 전기적으로 분리되어 형성된 비접촉 후면 전계 영역;상기 비접촉 후면 전계 영역 상에 형성되는 패시베이션 영역;상기 패시베이션 영역 상에 형성된 비결정형 에미터 영역; 상기 국부 후면 전계 영역과 접촉되는 제1 금속 전극; 및상기 에미터 영역과 접촉되는 제2 금속 전극을 포함하는 태양전지
2 2
제1항에 있어서, 상기 국부 후면 전계 영역의 면적은 상기 기판의 전체 면적 중에서 0
3 3
제1항에 있어서, 상기 비접촉 후면 전계 영역의 면적은 상기 기판의 전체 면적 중에서 0
4 4
제1항에 있어서, 상기 패시베이션 영역은 진성 비정질 실리콘 박막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지
5 5
제1항에 있어서, 상기 에미터 영역은 비정질 실리콘 박막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지
6 6
제1항에 있어서,상기 기판의 타면에 전면 전계 영역을 더 포함하는 태양전지
7 7
제1항에 있어서, 상기 기판의 타면에 반사방지막을 더 포함하는 태양전지
8 8
제1항에 있어서, 상기 기판의 타면은 텍스처링된 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 태양전지
9 9
제1항에 있어서, 상기 국부 후면 전계 영역 및 상기 비접촉 후면 전계 영역은 상기 기판과 반대의 도전성의 제2 도전형을 가지는 것을 특징으로 하는 태양전지
10 10
제1항에 있어서, 상기 금속 전극 및 상기 국부 후면 전계 영역은 상기 기판 상에 스트라이프 형상을 가지며, 상기 비접촉 후면 전계 영역은 상기 기판 상에 도트형의 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지
11 11
제1 도전형을 가지는 결정형 반도체 기판의 후면에 국부 후면 전계 영역을 형성하는 단계;상기 국부 후면 전계 영역과 전기적으로 분리되는 비접촉 후면 전계 영역을 형성하는 단계;상기 비접촉 후면 전계 영역 상에 패시베이션 영역을 형성하는 단계;상기 패시베이션 영역 상에 비결정형 에미터 영역을 형성하는 단계; 상기 국부 후면 전계 영역과 접촉되는 제1 금속 전극을 형성하는 단계; 및상기 에미터 영역과 접촉되는 제2 금속 전극을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지 제조방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 국부 후면 전계 영역의 면적은 상기 기판의 전체 면적 중에서 0
13 13
제11항에 있어서, 상기 비접촉 후면 전계 영역의 면적은 상기 기판의 전체 면적 중에서 0
14 14
제11항에 있어서, 상기 패시베이션 영역을 진성 비정질 실리콘 박막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
15 15
제11항에 있어서, 상기 에미터 영역을 비정질 실리콘 박막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
16 16
제11항에 있어서,상기 기판의 타면에 전면 전계 영역을 형성하는 단계를 더 포함하는 태양전지 제조방법
17 17
제11항에 있어서, 상기 기판의 타면에 반사방지막을 형성하는 단계를 더 포함하는 태양전지 제조방법
18 18
제11항에 있어서, 상기 기판의 타면을 텍스처링하는 단계를 더 포함하는 태양전지 제조방법
19 19
제11항에 있어서, 상기 제1 도전형과 반대의 도전성의 제2 도전형을 가지는 것을 상기 국부 후면 전계 영역 및 상기 비접촉 후면 전계 영역을 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
20 20
제11항에 있어서, 상기 금속 전극 및 상기 국부 후면 전계 영역을 상기 기판 상에 스트라이프 형상으로 형성하며, 상기 비접촉 후면 전계 영역은 상기 기판 상에 도트형의 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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