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단결정 탄화 규소의 성장에 사용되는 홀더-시드 결합체로서,홀더; 및상기 홀더에 부착되며, 상기 홀더와 동일한 물질을 포함하는 시드를 포함하는 홀더-시드 결합체
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제1항에 있어서,상기 홀더와 상기 시드가 탄화 규소를 포함하는 홀더-시드 결합체
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제1항에 있어서, 상기 홀더와 상기 시드의 계면에 상기 홀더와 상기 시드를 열 확산 접합하는 접합 영역을 포함하는 홀더-시드 결합체
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제3항에 있어서,상기 접합 영역은 상기 홀더 및 상기 시드와 동일한 물질을 포함하는 홀더-시드 결합체
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제4항에 있어서,상기 홀더가 베타상의 다결정 탄화 규소를 포함하고,상기 시드가 단결정 탄화 규소를 포함하며, 상기 접합 영역은 베타상의 다결정 탄화 규소를 포함하는 홀더-시드 결합체
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단결정 탄화 규소 성장에 사용되는 홀더-시드 결합체의 제조 방법으로서,홀더를 준비하는 단계; 및상기 홀더와 동일한 물질을 포함하는 시드를 상기 홀더에 부착하는 단계를 포함하는 홀더-시드 결합체의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 홀더와 상기 시드가 탄화 규소를 포함하는 홀더-시드 결합체의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 시드를 상기 홀더에 부착하는 단계는, 상기 홀더에 접합층을 형성하는 단계;상기 접합층에 상기 시드를 위치시키는 단계; 및상기 홀더, 상기 접합층 및 상기 시드를 열처리하는 단계 를 포함하는 홀더-시드 결합체의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 열처리에 의해 상기 홀더와 상기 시드의 계면에 형성된 접합 영역은 상기 홀더 및 상기 시드와 동일한 물질을 포함하는 홀더-시드 결합체의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 접합층은 페이스트 형태를 가지는 홀더-시드 결합체의 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 접합층은 고분자 세라믹 전구체, 필러 및 용매를 포함하는 홀더-시드 결합체의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 고분자 세라믹 전구체는 폴리 카르보실란을 포함하는 홀더-시드 결합체의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 필러는 Y2O3, Al2O3 및 MgO로 이루어진 군에서 선택된 물질을 적어도 하나 포함하고, 용매는 헥산을 포함하는 홀더-시드 결합체의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 열처리하는 단계는 1100~1500℃ 온도에서 수행되는 홀더-시드 결합체의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 시드가 탄화 규소 웨이퍼를 포함하는 홀더-시드 결합체의 제조 방법
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