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하부 프레임;상기 하부 프레임의 상부에 배치되는 제1 트레이 구조물;상기 제1 트레이 구조물의 상부에 배치되는 제2 트레이 구조물; 및상기 제1 트레이 구조물 및 제2 트레이 구조물을 상호 결합시키는 고정 부재;를 포함하는 급속 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 트레이 구조물은,상기 하부 프레임 상에 배치되는 제1 트레이 베이스(tray base); 상기 제1 트레이 베이스와 결합되는 제1 가드링(guard ring); 및상기 제1 트레이 베이스와 상기 제1 가드링을 상호 결합시키는 한쌍 이상의 제1 네일(nail)을 포함하는 급속 열처리 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 트레이 구조물은,상기 제1 트레이 구조물 상에 배치되는 제2 트레이 베이스(tray base);상기 제2 트레이 베이스와 결합되는 제2 가드링(guard ring); 및상기 제2 트레이 베이스와 상기 제2 가드링을 상호 결합시키는 한쌍의 제2 네일(nail)을 포함하는 급속 열처리 장치
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제3항에 있어서, 상기 제1 가드링에는 상기 제1 네일이 삽입되도록 제1 홀이 형성되고, 상기 제2 가드링에는 상기 제2 네일이 삽입되도록 제2 홀이 형성된 것을 포함하는 급속 열처리 장치
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제4항에 있어서,상기 제1 가드링 및 제2 가드링은 6개의 가드 피스(guard piece)로 분리된 것을 포함하는 급속 열처리 장치
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6
제5항에 있어서, 상기 제1 가드링의 각각의 가드 피스는 한쌍의 상기 제1 홀을 포함하고, 상기 제2 가드링의 각각의 가드 피스는 한쌍의 상기 제2 홀을 포함하는 급속 열처리 장치
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제3항에 있어서,상기 웨이퍼는 상기 제1 가드링과 상기 제2 가드링 사이에 배치된 것을 포함하는 급속 열처리 장치
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제3항에 있어서,상기 제1 트레이 베이스 및 제2 트레이 베이스는 링 형태로 형성되고,상기 제1 트레이 베이스는 적어도 하나 이상의 제1 관통홀을 포함하고, 상기 제2 트레이 베이스에는 상기 제1 관통홀과 대응하는 위치에 형성된 제2 관통홀을 포함하며,상기 제1 관통홀 및 제2 관통홀에 상기 고정부재가 결합되는 것을 포함하는 급속 열처리 장치
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제8항에 있어서,상기 고정부재는 바디부재 및 캡부재를 포함하고, 상기 바디부재는 제1 트레이 베이스와 제2 트레이 베이스 사이에 개재되는 지지 베이스와, 상기 제1 관통홀에 삽입되도록 상기 지지 베이스의 중앙에서 하부로 돌출된 제1 고정돌기 및 상기 지지 베이스의 중앙에서 상부로 돌출된 제2 돌기를 포함하고,상기 캡부재는 상기 제2 돌기가 삽입되도록 내부에 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 급속 열처리 장치
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제3항에 있어서,상기 제1 트레이 베이스는 상기 제1 네일이 결합되도록 내측 방향을 향해 연장된 적어도 하나 이상의 제1 받침대를 포함하고,상기 제1 받침대는 상기 제1 네일이 삽입되도록 제1 결합홀이 형성된 것을 포함하는 급속 열처리 장치
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제10항에 있어서,상기 제1 네일은 상기 제1 받침대 상에 설치되는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부 하부로 돌출되고 상기 제1 결합홀에 삽입되는 제1 돌기와, 상기 제1 지지부 상부로 돌출되고 상기 제1 가드링의 제1 홀에 삽입되는 제2 돌기를 포함하는 급속 열처리 장치
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제11항에 있어서,상기 제2 트레이 베이스는 상기 제2 네일이 결합되도록 내측 방향을 향해 연장된 적어도 하나 이상의 제2 받침대를 포함하고,상기 제2 받침대는 상기 제2 네일이 삽입되도록 제2 결합홀이 형성된 것을 포함하는 급속 열처리 장치
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제12항에 있어서,상기 제2 네일은 상기 제2 받침대 상에 설치되는 제2 지지부와, 상기 제2 지지부 하부로 돌출되고 상기 제2 결합홀에 삽입되는 제3 돌기와, 상기 제2 지지부 상부로 돌출되고 상기 제2 가드링의 제2 홀에 삽입되는 제4 돌기를 포함하는 급속 열처리 장치
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14
제13항에 있어서,상기 제1 받침대는 제1 두께로 가지고, 상기 제2 받침대는 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께를 가지는 급속 열처리 장치
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제14항에 있어서,상기 제1 네일은 제1 높이를 가지고, 상기 제2 네일은 제1 높이보다 큰 제2 높이를 가지는 급속 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 트레이 구조물과 상기 제2 트레이 구조물 사이에 웨이퍼가 배치되는 급속 열처리 장치
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