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원료 내에 상기 원료보다 낮은 경도의 스페이서를 위치시키는 단계; 및 소결체를 형성하도록 상기 원료와 상기 스페이서를 열간 가압하는 단계를 포함하고, 상기 소결체를 형성하기 위해 이용되는 열간 가압 소결 장치는, 챔버; 상기 챔버 내에 위치하는 몰드 부재; 상기 몰드 부재 내에서의 가압을 위한 상부 가압 부재 및 하부 가압 부재를 포함하는 가압 부재; 및 상기 챔버 내부를 가열하는 가열 부재를 포함하며,상기 스페이서는 상기 상부 가압 부재 및 상기 하부 가압 부재 중 적어도 어느 하나에 인접하여 위치하는 소결체의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 열간 가압하는 단계 이후에, 상기 스페이서를 가공하는 단계를 포함하는 소결체의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 원료 내에 상기 스페이서를 위치시키는 단계는,상기 하부 가압 부재 위에 상기 스페이서를 위치시키는 단계; 및 상기 스페이서 위에 상기 원료를 위치시키는 단계를 포함하는 소결체의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 열간 가압하는 단계에서는, 상기 상부 가압 부재를 상기 원료 위에 위치시켜 상기 하부 가압 부재와 상기 상부 가압 부재에 의하여 상기 스페이서와 원료를 가압하면서 상기 가열 부재에 의하여 가열하고, 상기 소결체는 상기 스페이서가 내부에 위치하는 소결체의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 소결체가 서셉터로 이용되고, 상기 스페이서가 상기 소결체의 일면에서 중앙 부분에 위치하는 소결체의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 열간 가압하는 단계 이후에 상기 스페이서를 가공하는 단계를 포함하고,상기 스페이서를 가공하는 단계에서는 상기 스페이서를 제거하여 오목부를 형성하여, 상기 오목부를 스핀들 장착부로 이용하는 소결체의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 원료 내에 상기 스페이서를 위치시키는 단계는,상기 하부 가압 부재 위에 상기 원료를 위치시키는 단계; 및 상기 원료 위에 상기 스페이서를 위치시키는 단계를 포함하는 소결체의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 열간 가압하는 단계에서는, 상기 상부 가압 부재를 상기 스페이서 위에 위치시켜 상기 하부 가압 부재와 상기 상부 가압 부재에 의하여 상기 스페이서와 원료를 가압하면서 상기 가열 부재에 의하여 가열하고, 상기 소결체는 상기 스페이서가 내부에 위치하는 소결체의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 소결체가 서셉터로 이용되고, 상기 스페이서가 상기 소결체의 일면에서 중앙 부분에 위치하는 소결체의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 열간 가압하는 단계 이후에 상기 스페이서를 가공하는 단계를 포함하고,상기 스페이서를 가공하는 단계에서는 상기 스페이서를 제거하여 오목부를 형성하여, 상기 오목부를 웨이퍼 장착부로 이용하는 소결체의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 소결체가 서셉터로 이용되고, 상기 원료가 탄화 규소를 포함하며 상기 스페이서가 흑연을 포함하는 소결체의 제조 방법
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