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반도체 제조장치

  • 기술번호 : KST2015053447
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요약 본 발명의 반도체 제조장치는 용기; 상기 용기 내에 구비된 기판 지지부; 상기 기판 지지부의 하부에 마련되어 상부에 분사 라인이 형성된 용액 분사부; 및 상기 용액 분사부의 양측에서 용액을 공급하는 용액 공급부;를 포함하고, 상기 용액 분사부는, 용액이 양측에서 공급되는 라인 형태의 몸체와, 상기 몸체 내에 소정 간격을 유지하도록 구비된 용액공급 파이프와, 상기 몸체의 상부에 용액이 토출되도록 형성된 분사 라인과, 상기 용액공급 파이프의 측면 또는 하부에 형성된 복수개의 용액 공급구를 포함한다.상기와 같은 발명은 라인 형상의 분사부를 형성함으로써, 공정 중 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01)
CPC H01L 21/6708(2013.01) H01L 21/6708(2013.01) H01L 21/6708(2013.01) H01L 21/6708(2013.01)
출원번호/일자 1020110015859 (2011.02.23)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1205599-0000 (2012.11.21)
공개번호/일자 10-2012-0096653 (2012.08.31) 문서열기
공고번호/일자 (20121127) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.02.23)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이지선 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0129436-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.11.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.12.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0097944-41
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0095856-13
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.04.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0312806-74
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0312805-28
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0563140-31
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.10.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0839264-98
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0839263-42
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2012.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0662656-22
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
용기;상기 용기 내에 구비된 기판 지지부;상기 기판 지지부의 하부에 마련되어 상부에 분사 라인이 형성된 용액 분사부; 및상기 용액 분사부의 양측에서 용액을 공급하는 용액 공급부;를 포함하고,상기 용액 분사부는,용액이 양측에서 공급되는 라인 형태의 몸체와, 상기 몸체 내에 소정 간격을 유지하도록 구비된 용액공급 파이프와,상기 몸체의 상부에 용액이 토출되도록 형성된 분사 라인과, 상기 용액공급 파이프의 측면 또는 하부에 형성된 복수개의 용액 공급구를 포함하는 반도체 제조장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
청구항 1에 있어서,상기 용액 공급구는 서로 다른 직경을 가지는 반도체 제조장치
6 6
청구항 5에 있어서,상기 용액 공급구는 용액공급 파이프의 중심으로 갈수록 공급구의 직경이 크게 형성된 반도체 제조장치
7 7
청구항 1에 있어서,상기 용액공급 파이프는 몸체 내에 적어도 두 개 이상이 이격 설치되는 반도체 제조장치
8 8
삭제
9 9
청구항 1에 있어서,상기 용기는 내조와, 상기 내조의 외측에 형성된 외조를 포함하는 반도체 제조장치
10 10
청구항 1에 있어서,상기 용액은 식각액, 세정액, 린스액을 포함하는 반도체 제조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.