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투광성 기판; 및 상기 기판 상의 투광성 전극층을 포함하고,상기 전극층은, 상기 기판 상의 제1 전극층 및 상기 제1 전극층과 상이한 재질로 구성된 상기 제1 전극층상의 제2 전극층을 포함하고,상기 제1 전극층은 제1 주기를 가지는 제1 요철구조를 포함하며, 상기 제2 전극층은 상기 제1 요철구조상에서 상기 제1 주기보다 작은 제2 주기를 가지는 제2 요철구조를 포함하는 박막 태양전지모듈
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제1항에 있어서,상기 제1 요철구조는 다수의 산과 골을 포함하고, 상기 제1 주기는 상기 다수의 산 중 이웃하는 두 개의 산 간의 거리인 박막 태양전지모듈
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제2항에 있어서, 상기 제1 주기는 1 내지 2㎛인 박막 태양전지모듈
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제1항에 있어서,상기 제1 전극층은 산화아연(ZnO)으로 형성된 박막 태양전지모듈
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제1항에 있어서,상기 제2 요철구조는 다수의 산과 골을 포함하고, 상기 제2 주기는 상기 다수의 산 중 이웃하는 두 개의 산 간의 거리인 박막 태양전지모듈
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제5항에 있어서,상기 제2 주기는 100 내지 200㎚인 박막 태양전지모듈
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제1항에 있어서,상기 제2 전극층은 산화주석(SnO)로 형성된 박막 태양전지모듈
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제1항에 있어서,상기 투광성 전극층 상에 순차적으로 위치한 광전변환층, 후면 전극층, 밀봉필름 및 후면 기판을 포함하는 박막 태양전지모듈
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기판 상에 투명 전극층을 형성하는 단계;상기 투명 전극층 상에 광전변환층을 형성하는 단계;상기 광전변환층 상에 후면전극층을 형성하는 단계; 및상기 후면전극층 상에 후면 기판을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 투명 전극층을 형성하는 단계는,상기 기판 상에 제1 전극층을 형성하는 단계와, 상기 제1 전극층 상에 상기 제1 전극층과 상이한 재질로 제2 전극층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 전극층은 제1 주기를 가지는 제1 요철구조를 포함하며, 상기 제2 전극층은 상기 제1 주기보다 작은 제2 주기를 가지는 제2 요철구조를 포함하는 박막 태양전지모듈 제조방법
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제9항에 있어서,상기 제1 전극층은 산화아연을 증착하고 에칭하여 형성하는 박막 태양전지모듈 제조방법
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제10항에 있어서,상기 제2 전극층은 상기 제1 전극층 상에 산화주석을 증착하여 형성하는 박막 태양전지모듈 제조방법
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제9항에 있어서,상기 제1 요철구조는 다수의 산과 골을 포함하고, 상기 제1 주기는 상기 다수의 산 중 이웃하는 두 개의 산 간의 거리이며, 상기 제1 주기는 1 내지 2㎛로 형성되는 태양전지모듈 제조방법
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제9항에 있어서,상기 제2 요철구조는 다수의 산과 골을 포함하고, 상기 제2 주기는 상기 다수의 산 중 이웃하는 두 개의 산 간의 거리이며, 상기 제2 주기는 100 내지 200㎚로 형성되는 태양전지모듈 제조방법
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