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질화 규소 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015053482
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  • 전화번호 :
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요약 실시예에 따른 질화 규소의 제조 방법은, 유기 규소 화합물과 질소 화합물을 반응시켜 질화 규소를 제조한다.
Int. CL C04B 35/584 (2006.01) C01B 21/068 (2006.01)
CPC C04B 35/584(2013.01) C04B 35/584(2013.01) C04B 35/584(2013.01)
출원번호/일자 1020110009813 (2011.01.31)
출원인 엘지이노텍 주식회사
등록번호/일자 10-1360509-0000 (2014.02.03)
공개번호/일자 10-2012-0088455 (2012.08.08) 문서열기
공고번호/일자 (20140207) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.01.31)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지이노텍 주식회사 대한민국 서울특별시 강서구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김명정 대한민국 서울특별시 중구
2 김상명 대한민국 서울특별시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지이노텍 주식회사 서울특별시 강서구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0079389-35
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0000722-41
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0024185-77
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0220455-06
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-0326123-16
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.04.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0326132-16
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0574428-77
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.09.13 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0841206-98
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.09.13 수리 (Accepted) 1-1-2013-0841205-42
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.10.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0728491-56
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1023748-81
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-1023746-90
14 등록결정서
Decision to Grant Registration
2014.01.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0020032-42
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.10.27 수리 (Accepted) 4-1-2014-0093826-77
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.03.08 수리 (Accepted) 4-1-2017-5035901-08
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5136723-03
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.01.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5011221-01
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번호 청구항
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유기 규소 화합물과 질소 화합물을 반응시켜 질화 규소를 제조하고, 상기 질소 화합물이 암모니아, 염화 암모늄 및 플루오린화 암모늄으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하고, 상기 유기 규소 화합물이 Me2SiCl2, Me3SiCl, MeSiHCl2, MeSiCl3, 4-(클로로메틸)페닐트리클로로실란(4-(chloromethyl)phenyltrichlorosilane), (2-메틸렌-1,3-프로판디일)비스[트리클로로실란]((2-methylene-1,3-propanediyl)bis[trichlorosilane]), (3-클로로프로필)트리메톡시실란((3-chloropropyl)trimethoxysilane) 및 1,2-비스(트리클로로시틸)에탄(1,2-bis(trichlorosilyl)ethane)으로 이루어진 군에서 선택되는 물질을 적어도 하나 포함하고, 상기 유기 규소 화합물 및 상기 질소 화합물이 액상이며,상기 유기 규소 화합물과 상기 질소 화합물을 교반하여 질화 규소를 포함하는 유기 화합물을 형성하는 원료 혼합 단계; 및상기 유기 화합물을 열처리하여 유기 관능기를 제거하고 질화 규소를 형성하는 열처리 단계를 포함하는 질화 규소의 제조 방법
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제12항에 있어서,상기 원료 혼합 단계는 100~200℃의 온도에서 수행되는 질화 규소의 제조 방법
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제12항에 있어서, 상기 열처리 단계는,상기 유기 화합물을 제1 온도에서 열처리하여 유기 관능기를 제거하는 단계; 및상기 유기 관능기가 제거된 화합물을 상기 제1 온도보다 높은 제2 온도에서 열처리하여 분말 형태의 질화 규소를 형성하는 단계를 포함하는 질화 규소의 제조 방법
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제15항에 있어서,상기 제1 온도가 600~700℃인 질화 규소의 제조 방법
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제15항에 있어서,상기 제2 온도가 900~1200℃인 질화 규소의 제조 방법
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제12항, 제14항 내지 제17항 중 어느 한 항에 의한 제조 방법에 의해 제조되어 불순물 농도가 2ppm 이하인 질화 규소
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.