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잉곳 절단 방법

  • 기술번호 : KST2015053562
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요약 본 발명은 잉곳을 절단하여 낱장의 웨이퍼를 생산하기 위한 잉곳 절단 방법에 관한 것이다. 상기 잉곳 절단 방법은, 육면체 형상을 갖는 잉곳의 한 면을 부착대에 부착하는 단계; 이격된 다수의 와이어를 고속으로 진행시키는 단계; 상기 부착대에 부착된 잉곳을 상기 와이어를 향해 하강하는 단계; 다수의 이격된 와이어에 의해 상기 잉곳을 웨이퍼 형태로 절단하는 단계; 를 포함하고, 상기 잉곳은, 상기 부착대에 부착되는 부착면의 길이방향 길이가 상기 부착면과 마주보는 대향면의 길이방향 길이보다 짧도록 상기 부착대에 부착되는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성에 따르면, 잉곳 절단 공정 중 와이어가 단선되는 경우를 최소화할 수 있는 잉곳 절단 방법을 제공할 수 있다.
Int. CL B28D 5/04 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01) B24B 27/06 (2006.01)
CPC B28D 5/045(2013.01) B28D 5/045(2013.01)
출원번호/일자 1020110011217 (2011.02.08)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1229971-0000 (2013.01.30)
공개번호/일자 10-2012-0090669 (2012.08.17) 문서열기
공고번호/일자 (20130206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.02.08)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이경무 대한민국 경상북도 구미시
2 정환연 대한민국 경상북도 구미시
3 윤용균 대한민국 대구광역시 달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지실트론 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0090404-47
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.09.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0540899-82
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.11.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0930468-63
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0930469-19
5 등록결정서
Decision to grant
2013.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0039599-16
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
잉곳 절단 방법에 있어서
2 2
제1항에 있어서,상기 잉곳이 하강하는 방향과 상기 와이어가 진행하는 방향은 직교하고,상기 잉곳은, 상기 와이어가 상기 잉곳에 들어가는 방향의 전면의 길이방향 길이는 상기 와이어가 상기 잉곳으로부터 나오는 방향의 후면의 길이방향 길이보다 길도록 상기 부착대에 부착되는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 와이어에는 연마제를 포함하는 슬러리가 분사되는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단 방법
4 4
제3항에 있어서,상기 슬러리는 상기 와이어 하부의 슬러리 받이에 모인 후, 저장탱크에 저장되어 재사용되는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 잉곳은 태양전지용 웨이퍼의 생산에 사용되는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.