요약 | 본 발명은 태양전지 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 태양전지 제조방법은, 기판의 일면에 요철을 형성하는 단계, 요철이 형성된 기판의 일면상에 에미터층을 형성하는 단계, 에미터층 상에 반사방지막을 형성하는 단계 및 반사방지막을 관통하여 상기 에미터층과 접속하는 전면전극을 형성하는 단계를 포함하고, 요철은 알카리 수용액에 유기용제 및 인산염을 혼합한 에칭 용액에 기판을 침지하여 형성할 수 있다. 이에 의해, 텍스쳐링 공정의 안정성이 향상되어 실리콘 반도체 기판의 일면에 균일한 요철을 형성할 수 있다. |
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Int. CL | H01L 31/0236 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01) |
CPC | H01L 31/02363(2013.01) H01L 31/02363(2013.01) H01L 31/02363(2013.01) H01L 31/02363(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020110015706 (2011.02.22) |
출원인 | 엘지전자 주식회사 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2012-0096338 (2012.08.30) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 거절 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2015.08.28) |
심사청구항수 | 10 |