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단결정 잉곳 절단장치

  • 기술번호 : KST2015053624
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요약 본 발명의 단결정 잉곳 절단장치는 잉곳이 장착되는 장착부와, 상기 장착부의 하부에 마련된 와이어 쏘와, 상기 장착부의 일측에 형성된 슬러리 공급부를 포함한다.상기와 같은 발명은 잉곳을 향해 슬러리를 직접 공급하는 슬러리 공급부를 구비함으로써, 절단 중 발생되는 잉곳의 열변형을 방지하여 고품질의 웨이퍼를 제조할 수 있다.
Int. CL B28D 5/04 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01) B28D 7/00 (2006.01) B24B 27/06 (2006.01)
CPC B28D 5/007(2013.01) B28D 5/007(2013.01)
출원번호/일자 1020110017791 (2011.02.28)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1232996-0000 (2013.02.06)
공개번호/일자 10-2012-0098084 (2012.09.05) 문서열기
공고번호/일자 (20130213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.02.28)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김주영 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0144356-43
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0536859-16
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.11.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0908333-47
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2012-0908334-93
5 등록결정서
Decision to grant
2013.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0076407-71
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
잉곳이 장착되는 장착부;상기 장착부의 하부에 마련된 와이어 쏘; 및상기 장착부의 일측에 형성된 슬러리 공급부;를 포함하고, 상기 슬러리 공급부는, 상기 장착부의 일측에 결합되는 분사 유닛과, 상기 분사 유닛으로 슬러리를 공급하는 슬러리 공급배관을 포함하고, 상기 분사 유닛은, 몸체와, 상기 몸체의 일측에 형성되는 노즐을 포함하고, 상기 분사 유닛의 몸체 내부에는, 상부 또는 하부를 향하도록 형성된 바 형상의 슬러리 커튼이 적어도 하나 이상 구비되는 단결정 잉곳 절단장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
청구항 1에 있어서,상기 몸체의 내부에는, 상기 노즐이 형성된 몸체의 일면으로부터 수평면을 이루도록 형성된 지지대가 더 포함하는 단결정 잉곳 절단장치
5 5
청구항 1에 있어서,상기 와이어 쏘의 일측에는 와이어 쏘를 고속 회전시키는 가이드 롤러를 포함하는 단결정 잉곳 절단장치
6 6
청구항 5에 있어서,상기 가이드 롤러의 상부에는 슬러리 공급유닛이 더 구비되는 단결정 잉곳 절단장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.