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모재에 기능성 막을 제공하기 위하여, 플라즈마 반응이 수행되는 단일 챔버와;상기 모재를 세정하기 위한 세정가스를 상기 챔버에 공급하는 세정가스 공급유닛과;상기 기능성 막 형성을 위한 프리커서를 상기 챔버에 공급하는 프리커서 공급유닛과;상기 챔버 내부의 가스를 외부로 배출하는 배출유닛과;상기 하나의 챔버에서, 전처리 세정, 기능성 막 제공 및 후처리 세정을 수행하도록, 상기 프리커서 공급유닛, 상기 세정가스 공급유닛 및 상기 배출유닛을 제어하는 제어유닛을 포함하는 기능성 막을 가지는 제품의 제조장치로서, 상기 세정 가스는 상기 챔버에 공급되는 반응성 가스를 사용하고, 상기 프리커서는 티타늄 이소프로폭사이드, 실리콘 및 카르복실산을 반응시켜 만들고, 수산화 티타늄(Ti(OH)4) 및 수산화 실리콘(Si(OH)4)을 포함하고,상기 기능성 막은 산화티타늄 및 산화실리콘 박막인 것을 특징으로 하는 것인 기능성 막을 가지는 제품의 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기능성 막은 단일막인 것을 특징으로 하는 기능성 막을 가지는 제품의 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 산화티타늄은 박막 형태이며, 상기 산화실리콘은 입자 형태인 것을 특징으로 하는 기능성 막을 가지는 제품의 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 카르복실산은 아세트산인 것을 특징으로 하는 기능성 막을 가지는 제품의 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 모재는 열교환기인 것을 특징으로 하는 기능성 막을 가지는 제품의 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 프리커서를 기화시키기 위한 기화기를 더욱 포함하며, 상기 기화기의 온도는 150-210℃인 것을 특징으로 하는 기능성 막을 가지는 제품의 제조장치
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제 13 항에 있어서, 상기 기화기와 챔버 사이를 연결하는 관은, 상기 기화기의 온도보다 낮게 가열되는 것을 특징으로 하는 기능성 막을 가지는 제품의 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 챔버에 공급되는 가스는 헬륨 및 산소이며, 상기 헬륨 및 상기 산소의 비율은 1:1 - 5:1인 것을 특징으로 하는 기능성 막을 가지는 제품의 제조장치
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제 16 항에 있어서, 상기 헬륨 및 상기 산소의 비율은 3:1인 것을 특징으로 하는 기능성 막을 가지는 제품의 제조장치
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제 1 항에 있어서, 상기 플라즈마 반응은 1
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제 1 항에 있어서, 상기 플라즈마 반응은 0
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