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마스크리스 노광장치를 이용한 노광방법 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법

기술번호 : KST2015053927
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명의 마스크리스(maskless) 노광장치를 이용한 노광방법 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법은 다수의 디엠디(Digital Micro-mirror Device; DMD)를 선택적으로 점등함으로써 마스크리스 노광장치의 유효 노광영역을 제어하여 스테이지 구동에 의한 패턴의 에러를 최소화하고 노광 택 타임(tact time)을 단축하기 위한 것으로, 베이스 상에 구비되며 작업대상물인 기판을 지지하는 평판 형상의 스테이지 및 상기 베이스 위쪽에 설치되며 다수의 디엠디로 구성된 디엠디어레이로 이루어진 마스크리스 노광장치를 제공하는 단계; 상기 스테이지 상에 제 1 도포층이 형성된 기판을 로딩하는 단계; 상기 디엠디어레이를 이용하여 한 번의 스캔 노광으로 상기 기판 전면을 노광하는 단계; 상기 스테이지 상에 제 2 도포층이 형성된 기판을 로딩하는 단계; 및 상기 디엠디어레이를 유효 노광영역에 따라 다수의 노광영역으로 구분하고 선택적으로 점등하여 상기 기판을 다수 회 스캔 노광하는 단계를 포함한다.
Int. CL	G02F 1/13 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC	G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01)
출원번호/일자	1020110036435 (2011.04.19)
출원인	엘지디스플레이 주식회사, 엘지전자 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2012-0118822 (2012.10.29) 문서열기
공고번호/일자	문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2016.04.06)
심사청구항수	11

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구
2	엘지전자 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	박원덕	대한민국	경기도 파주시
2	최종률	대한민국	경기도 파주시 가온로 ***, 가람마
3	양남열	대한민국	서울시 영등포구
4	김건수	대한민국	서울시 영등포구
5	박명주	대한민국	서울시 영등포구
6	이창주	대한민국	서울시 영등포구
7	신영훈	대한민국	서울시 영등포구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	박장원	대한민국	서울특별시 강남구 강남대로 **, 층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사		서울특별시 영등포구
2	엘지전자 주식회사		서울특별시 영등포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2011.04.19	수리 (Accepted)	1-1-2011-0291352-75
2	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2011.09.05	수리 (Accepted)	1-1-2011-0693351-47
3	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.05.22	수리 (Accepted)	4-1-2015-5068349-97
6	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2016.04.06	수리 (Accepted)	1-1-2016-0333198-97
7	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2016.12.13	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
8	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2017.02.10	수리 (Accepted)	9-1-2017-0003833-74
9	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2017.03.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0233469-23
10	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2017.05.31	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2017-0522402-30
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2017.05.31	수리 (Accepted)	1-1-2017-0522400-49
12	등록결정서 Decision to grant	2017.06.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0414454-95
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.05.28	수리 (Accepted)	4-1-2020-5118228-40

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 스테이지 상에 제 1 도포층이 형성된 기판을 로딩하는 단계;다수의 디엠디로 구성된 디엠디어레이를 이용하여 한 번의 스캔 노광으로 상기 기판 전면을 노광(첫 번째 노광)하는 단계;상기 첫 번째 노광을 통해 상기 기판에 제 1 패턴을 형성한 후에, 상기 기판 위에 제 2 도포층을 형성하는 단계;상기 스테이지 상에 상기 제 2 도포층이 형성된 상기 기판을 로딩하는 단계; 및상기 디엠디어레이를 유효 노광영역에 따라 다수의 노광영역으로 구분하고 선택적으로 점등하여, 상기 기판을 다수 회 스캔 노광(2번째 노광)하여 제 2 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 마스크리스 노광장치를 이용한 노광방법
2	2 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 도포층과 상기 제 2 도포층은 포토레지스트로 형성하는 마스크리스 노광장치를 이용한 노광방법
3	3 제 1 항에 있어서, 상기 첫 번째 노광 및 상기 2번째 노광 시 상기 스테이지는 한 방향으로만 이동하는 마스크리스 노광장치를 이용한 노광방법
4	4 제 1 항에 있어서, 상기 디엠디어레이는 상기 다수의 디엠디가 2열로 배열되어 상기 기판 표면을 스캔 노광하는 마스크리스 노광장치를 이용한 노광방법
5	5 제 4 항에 있어서, 상기 디엠디의 열들 사이는 서로 엇갈리게 배열되는 마스크리스 노광장치를 이용한 노광방법
6	6 제 1 항에 있어서, 상기 2번째 노광 시 상기 유효 노광영역이 상기 기판의 절반에 해당하는 경우, 상기 디엠디어레이를 제 1, 제 2 노광영역의 2부분의 노광영역으로 구분하여 선택적으로 점등하는 마스크리스 노광장치를 이용한 노광방법
7	7 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 노광영역의 상기 디엠디를 선택적으로 점등한 상태에서 상기 기판이 로딩된 상기 스테이지를 일 방향으로 이동시킴으로써 상기 기판의 A영역을 스캔 노광하는 마스크리스 노광장치를 이용한 노광방법
8	8 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 노광영역의 상기 디엠디를 끄고 상기 제 2 노광영역의 상기 디엠디를 선택적으로 점등한 상태에서 상기 기판이 로딩된 상기 스테이지를 다른 일 방향으로 이동시킴으로써 상기 기판의 B영역을 스캔 노광하는 마스크리스 노광장치를 이용한 노광방법
9	9 다수개의 컬러필터 기판들이 배치된 제 1 모기판과 다수개의 어레이 기판들이 배치된 제 2 모기판을 제공하는 단계;다수의 디엠디로 구성된 디엠디어레이를 포함하는 마스크리스 노광장치를 이용하여 상기 다수개의 컬러필터 기판들에 컬러필터공정을 진행하며, 상기 다수개의 어레이 기판들에 어레이공정을 진행하는 단계;상기 컬러필터공정 및 상기 어레이공정이 각각 진행된 상기 제 1 모기판 및 상기 제 2 모기판 표면에 배향막을 형성하는 단계;상기 배향막에 대해 러빙공정을 진행하는 단계;상기 러빙공정이 끝난 상기 제 1 모기판과 상기 제 2 모기판을 합착하여 다수개의 액정표시패널을 형성하는 단계; 및상기 합착된 상기 제 1 모기판과 상기 제 2 모기판을 절단하여 다수개의 단위 액정표시패널로 분리하는 단계를 포함하며,상기 컬러필터공정 및 상기 어레이공정은, 상기 디엠디어레이를 이용한 한 번의 스캔 노광으로 상기 제 1, 제 2 모기판 전면을 노광하여 첫 번째 패턴을 형성하며, 2번째 이후의 박막 패터닝에는 하부 층과의 정렬 마진을 고려하여 상기 디엠디어레이를 유효 노광영역에 따라 다수의 노광영역으로 구분하고 선택적으로 점등하여, 상기 제 1, 제 2 모기판을 다수 회 스캔 노광하여 진행되는 액정표시장치의 제조방법
10	10 제 9 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 모기판에 3x2개의 패널영역이 정의되는 경우에는, 상기 디엠디어레이를 3부분의 노광영역으로 구분하고, 제 1 노광영역의 디엠디와, 제 2 노광영역의 디엠디 및 제 3 노광영역의 디엠디를 선택적으로 점등하여 3번의 스캔 노광을 실시하는 액정표시장치의 제조방법
11	11 제 9 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 모기판에 2x2개의 패널영역이 정의되는 경우에는, 상기 디엠디어레이를 2부분의 노광영역으로 구분하고, 제 1 노광영역의 디엠디와 제 2 노광영역의 디엠디를 선택적으로 점등하여 2번의 스캔 노광을 실시하는 액정표시장치의 제조방법

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2011.04.19	수리 (Accepted)	1-1-2011-0291352-75
2	[출원서등 보정]보정서	2011.09.05	수리 (Accepted)	1-1-2011-0693351-47
3	출원인정보변경(경정)신고서	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
4	출원인정보변경(경정)신고서	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95
5	출원인정보변경(경정)신고서	2015.05.22	수리 (Accepted)	4-1-2015-5068349-97
6	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서	2016.04.06	수리 (Accepted)	1-1-2016-0333198-97
7	선행기술조사의뢰서	2016.12.13	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
8	선행기술조사보고서	2017.02.10	수리 (Accepted)	9-1-2017-0003833-74
9	의견제출통지서	2017.03.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0233469-23
10	[명세서등 보정]보정서	2017.05.31	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2017-0522402-30
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2017.05.31	수리 (Accepted)	1-1-2017-0522400-49
12	등록결정서	2017.06.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0414454-95
13	출원인정보변경(경정)신고서	2020.05.28	수리 (Accepted)	4-1-2020-5118228-40


기술번호	KST2015053927
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	마스크리스 노광장치를 이용한 노광방법 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법
기술개요	본 발명의 마스크리스(maskless) 노광장치를 이용한 노광방법 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법은 다수의 디엠디(Digital Micro-mirror Device; DMD)를 선택적으로 점등함으로써 마스크리스 노광장치의 유효 노광영역을 제어하여 스테이지 구동에 의한 패턴의 에러를 최소화하고 노광 택 타임(tact time)을 단축하기 위한 것으로, 베이스 상에 구비되며 작업대상물인 기판을 지지하는 평판 형상의 스테이지 및 상기 베이스 위쪽에 설치되며 다수의 디엠디로 구성된 디엠디어레이로 이루어진 마스크리스 노광장치를 제공하는 단계; 상기 스테이지 상에 제 1 도포층이 형성된 기판을 로딩하는 단계; 상기 디엠디어레이를 이용하여 한 번의 스캔 노광으로 상기 기판 전면을 노광하는 단계; 상기 스테이지 상에 제 2 도포층이 형성된 기판을 로딩하는 단계; 및 상기 디엠디어레이를 유효 노광영역에 따라 다수의 노광영역으로 구분하고 선택적으로 점등하여 상기 기판을 다수 회 스캔 노광하는 단계를 포함한다.
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
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