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매엽식 세정 및 건조 장치, 매엽식 세정 및 건조 방법

  • 기술번호 : KST2015054068
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼에 부착된 이물질을 낱장의 웨이퍼 단위로 세정 및 건조할 수 있도록 구성된 매엽식 세정 및 건조 장치 및 매엽식 세정 및 건조 방법에 관한 것이다. 상기 매엽식 세정 및 건조 장치는, 기판을 지지하여 회전시키는 지지대; 상기 기판 위로 린스액을 분사하는 린스액 노즐; 상기 기판 위로 불활성가스를 분사하는 가스 노즐; 를 포함하고, 상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐은 서로 인접하도록 나란하게 배치되어, 상기 기판의 중앙에서 외주로 이동 가능한 것을 특징으로 한다. 이러한 구성에 따르면, 웨이퍼 세정 및 건조 효율을 향상시키고, 장치 및 운전방법을 간단하게 할 수 있는 매엽식 세정 및 건조 장치 및 매엽식 세정 및 건조 방법을 제공할 수 있다.
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/67051(2013.01) H01L 21/67051(2013.01)
출원번호/일자 1020110040806 (2011.04.29)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1292221-0000 (2013.07.26)
공개번호/일자 10-2012-0122572 (2012.11.07) 문서열기
공고번호/일자 (20130802) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.04.29)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안진우 대한민국 대전광역시 서구
2 이재환 대한민국 경상북도 구미시
3 김봉우 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0320780-73
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0353269-07
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.08.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-0621809-70
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.08.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0621808-24
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0794198-29
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.02.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0161150-68
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0161151-14
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0444030-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
매엽식 세정 및 건조 장치에 있어서, 기판을 지지하여 회전시키는 지지대;상기 기판 위로 린스액을 분사하는 린스액 노즐; 및상기 기판 위로 불활성가스를 분사하는 가스 노즐;을 포함하고, 상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐은 서로 인접하도록 나란하게 배치되어 상기 기판의 중앙에서 외주로 이동 가능하고, 상기 린스액 노즐의 분사각도와 상기 가스 노즐의 분사각도는 상기 기판에 수직인 직선에 대해 0°에서 90°사이에서 자동 또는 수동으로 조절 가능하고, 상기 린스액 노즐과 가스 노즐 중 적어도 하나는 적어도 2개의 관절을 포함하여 단부가 굴곡될 수 있는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐과 함께 연결되어, 상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐을 상기 기판의 중앙에서 외주로 이동시키는 이동 장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
3 3
제2항에 있어서,상기 이동 장치는 상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐을 동시에 상기 기판의 중앙에서 외주로 이동시키는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
4 4
제3항에 있어서,상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐의 이동 방향에서 볼 때, 상기 린스액 노즐이 상기 기판의 외주측에 가깝고, 상기 가스 노즐이 상기 기판의 외주측에서 멀도록 배치되는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐을 승강시키는 승강 장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
6 6
제5항에 있어서,상기 승강 장치는 상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐을 동시에 승강시키는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서,상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐 사이의 간격은 자동 또는 수동으로 조절 가능한 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
9 9
제1항에 있어서,상기 기판 표면에서 상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐까지의 높이는 4 내지 10 mm인 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
10 10
제1항에 있어서,상기 린스액 노즐과 상기 가스 노즐 사이의 간격은 4 내지 10 mm인 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
11 11
제1항에 있어서,상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐의 분사각도는 상기 기판 표면에 평행한 면에서 30~50°인 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
12 12
제1항에 있어서,상기 린스액의 분사량은 1
13 13
제1항에 있어서,상기 불활성가스의 분사량은 3 내지 5 lpm인 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
14 14
제1항에 있어서,상기 기판의 회전속도는 1400 내지 1600 rpm인 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 장치
15 15
제1항에 있어서,상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐이 상기 기판 위를 이동하는 속도는 0
16 16
매엽식 세정 및 건조 방법에 있어서, 지지대 위에 기판을 지지하여 회전시키는 단계;린스액 노즐을 상기 기판의 중앙에서 외주로 이동시키면서 상기 기판 위로 린스액을 분사하는 단계; 및가스 노즐을 상기 기판의 중앙에서 외주로 이동시키면서 상기 기판 위로 불활성가스를 분사하는 단계;를 포함하고,상기 린스액 노즐의 분사각도와 상기 가스 노즐의 분사각도를 상기 기판에 수직인 직선에 대해 0°에서 90°사이에서 자동 또는 수동으로 조절하고, 상기 린스액 노즐과 가스 노즐 중 적어도 하나는, 적어도 2개의 관절을 포함하여 단부가 굴곡될 수 있는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 방법
17 17
제16항에 있어서,상기 가스 노즐은 상기 린스액 노즐을 뒤따라 가면서 상기 기판의 중앙에서 외주로 이동되는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 방법
18 18
제17항에 있어서,상기 린스액 노즐 및 상기 가스 노즐 사이의 간격은 자동 또는 수동으로 조절 가능한 것을 특징으로 하는 매엽식 세정 및 건조 방법
19 19
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.