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센서;
센서를 상하 이동시키는 상하 이동부; 및
웨이퍼 적재부의 상단에서부터 하단까지 센서가 이동하는데 걸리는 시간을 미리 입력된 기준 데이터와 비교하는 중앙 처리부;를 포함하고,
센서는 웨이퍼가 존재하는 구간에서는 저속으로 이동하고 웨이퍼가 없는 구간에서는 고속으로 이동하며,
상기 기준 테이터는 웨이퍼 적재부의 각 슬롯에 웨이퍼가 정상적으로 적재된 경우에 상기 상단에서부터 상기 하단까지 센서가 이동하는데 걸리는 시간이고,
센서가 상기 상단에서부터 상기 하단까지 이동되는데 걸린 시간을 기준 데이터와 비교하여 웨이퍼 적재부에 웨이퍼가 정상적으로 적재되었는지를 판단하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 정상적재 여부 감지장치
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제1항에 있어서,
웨이퍼의 일부분이 웨이퍼 적재부의 측방향으로 돌출되도록 각각의 슬롯에 웨이퍼가 적재되고,
상기 센서는 투광부와 수광부를 포함하며,
투광부와 수광부는 웨이퍼의 상기 돌출된 부분의 양측에 설치되되, 상하 이동부에 의하여 동시에 상승 또는 하강되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 정상적재 여부 감지장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,
상하 이동부의 상단에 설치된 가이드 부재; 및
가이드 부재에 의하여 가이드되면서 웨이퍼에 대한 이동이 가능한 이동부재;를 포함하고,
상기 센서는 이동부재에 설치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 정상적재 여부 감지장치
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(a) 웨이퍼 적재부의 상단에서부터 하단까지 센서가 이동하면서 웨이퍼의 존재여부를 감지하되, 웨이퍼가 적재된 구간에서는 저속으로 이동하고 웨이퍼가 없는 구간에서는 고속으로 이동하는 단계;
(b) 상기 상단에서부터 하단까지 센서가 이동하는 데 걸린 시간을 미리 입력된 기준 데이터와 비교하는 단계; 및
(c) 상기 시간이 기준데이터의 범위를 벗어나는 경우에는 알람 경보를 발생시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 정상적재 여부 감지방법
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제4항에 있어서,
웨이퍼 적재부의 각 슬롯별로 센서가 이동하는데 걸린 시간을 측정하고, 각 슬롯별 이동시간을 미리 입력된 각 슬롯별 기준시간과 비교하고,
상기 각 슬롯별 이동시간이 상기 기준시간의 범위를 초과하면 알람 경보를 발생시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 정상적재 여부 감지방법
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제4항에 있어서,
상기 센서는 각 슬롯에 적재된 웨이퍼의 두께를 측정하고, 하나의 슬롯에 두 개 이상의 웨이퍼가 적재되거나 웨이퍼가 경사지도록 슬롯에 적재되어 상기 두께가 정상 범위를 벗어나면 알람 경보를 발생시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 정상적재 여부 감지방법
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