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나노파티클 패터닝 방법 및 이에 의해 제조된 선 격자 편광자

  • 기술번호 : KST2015054662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 별도의 증착공정 없이 나노패터닝을 할 수 있어, 제작시간 및 비용을 줄일 수 있고, 생산성 증대와 생산가 절감에 기여할 수 있는 나노패터닝 공정 및 이에 이해 제조된 선 격자 편광자에 대한 것이다.선격자 편광자, 스핀 코팅, 나노
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/70408(2013.01) G03F 7/70408(2013.01) G03F 7/70408(2013.01)
출원번호/일자 1020080087032 (2008.09.04)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1121047-0000 (2012.02.21)
공개번호/일자 10-2010-0028143 (2010.03.12) 문서열기
공고번호/일자 (20120315) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.01)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재진 대한민국 서울특별시 송파구
2 신부건 대한민국 대전광역시 유성구
3 이종택 대한민국 대전광역시 유성구
4 김태수 대한민국 대전광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)
3 박용순 대한민국 서울특별시 송파구 법원로*길 **, **층 D-****호(문정동)(주심국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2008-0628592-37
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2010.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2010-0354264-21
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.04.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.05.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0041924-93
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0377699-32
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.09.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0700574-87
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0700571-40
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0076028-35
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
11 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2018.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0576622-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판상에 친수성 코팅을 하는 단계;와상기 친수성 코팅된 기판상에 반사 방지 물질과, 감광제를 순차적으로 코팅하여 반사 방지층과 감광제 층을 순차적으로 형성시키는 코팅단계;와상기 감광제 층을 일정 주기 패턴으로 형성하는 패턴형성단계;와상기 감광제 층과 상기 반사 방지 층을 식각하여 나노 패턴이 형성된 기판을 형성하는 기판형성단계;와상기 나노 패턴이 형성된 기판에 나노 파티클을 스핀 코팅하는 스핀코팅단계;와상기 나노 파티클이 스핀 코팅된 기판을 소성하는 소성단계;를 포함하는 나노 파티클 패터닝방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 패턴형성단계는 간섭 노광에 의한 것을 특징으로 하는 나노 파티클 패터닝방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 기판형성단계는 건식 식각에 의한 것을 특징으로 하는 나노 파티클 패터닝방법
4 4
제 3항에 있어서,상기 건식 식각은,(a) 아르곤 가스를 이용하여 감광제 층 및 반사 방지 층을 에칭하는 단계;및(b) CHF3, CF4, SF6, C3F8 가스 중 어느 하나 또는 이들의 혼합가스를 이용하여 기판을 에칭하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 파티클 패터닝방법
5 5
제 4항에 있어서,상기 (b)단계에 Ar 또는 O2 가스를 추가하여 기판을 에칭하는 것을 특징으로 하는 나노 파티클 패터닝방법
6 6
삭제
7 7
제 1항에 있어서,상기 스핀코팅단계는, 나노 파티클을 용매에 분산하는 단계와, 용매에 분산된 나노 파티클을 상기 나노 패턴이 형성된 기판에 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 파티클 패터닝방법
8 8
제 7항에 있어서,상기 용매는 친수성 용매인 것을 특징으로 하는 나노 파티클 패터닝방법
9 9
제 8항에 있어서,상기 용매는 글리세린, 에틸렌 글리콜, 에탄올 중에서 선택되는 어느 하나 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 나노 파티클 패터닝방법
10 10
제 9항에 있어서,상기 글리세린, 상기 에틸렌 글리콜, 상기 에탄올을 혼합하여 사용하는 경우 그 비율은 10~30:30~60:10~40인 것을 특징으로 하는 나노 파티클 패터닝방법
11 11
제 1항에 있어서,상기 나노파티클은 Ag, Cu, Al, Fe, Au, Pt 및 이들의 혼합금속 중 선택되는 것을 특징으로 하는 나노 파티클의 패터닝 방법
12 12
제 11항에 있어서,상기 나노파티클의 직경은 100nm이하인 것을 특징으로 하는 나노 파티클의 패터닝 방법
13 13
제 7항에 있어서,상기 나노파티클은 전체 용액무게의 1~10%로 포함되는 것을 특징으로 하는 나노파티클의 패터닝 방법
14 14
제 1항 내지 제5항 및 제7항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 기재된 나노 파티클의 패터닝 방법에 의해 제조된 선 격자 편광자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.