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개방영역이 형성된 기판;
제 3 탄성체를 통해 상기 기판에 지지되고, 상기 제 3 탄성체를 회전축으로 하여 구동하는 김블;
제 2 탄성체를 통해 상기 김블의 내측에 지지되는 강화틀;
상기 제 2 탄성체와 일직선 상에 위치하는 제 1 탄성체를 통해 상기 강화틀의 내측에 지지되고, 상기 제 1 탄성체 및 상기 제 2 탄성체를 회전축으로 하여 상기 강화틀과 함께 구동하는 미러판;
상기 김블, 상기 강화틀 및 상기 미러판 상에 위치하여 구동전류가 흐르는 코일; 및
상기 기판의 저면에 위치하여, 상기 구동전류와 상호작용하여 구동력을 생성하는 자석을 포함하며,
상기 제 1 탄성체 및 제 2 탄성체가 구성하는 회전축은 상기 제 3 탄성체가 구성하는 회전축과 직교하고,
상기 미러판은 빔을 반사하는 미러가 다수의 연결살에 의해 프레임과 결합하도록 구성되고,
상기 제 1 탄성체, 제 2 탄성체 및 제 3 탄성체 중 적어도 하나는 "V"자 형상의 이중 토션바로 구성되어 일단은 두 개의 지지점을 구비하고 타단은 하나의 지지점을 구비하도록 구성되는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서, 상기 자석은
링형 자석; 및
상기 링형 자석의 내측에 소정 간격 이격되어 위치하는 원통형 자석;
을 포함하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서,
상기 코일에 저대역의 제 1 주파수 신호를 인가하면 소정의 회전축을 중심으로 강제 구동하고,
상기 코일에 고대역의 제 2 주파수 신호를 인가하면 상기 소정의 회전축과 수직인 회전축을 중심으로 공진 구동하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서,
상기 강화틀은 상기 미러판의 회전 방향 및 회전 각도와 동일한 방향 및 동일한 각도로 구동하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서, 상기 코일은 단선 및 단층 구조로서,
일측 제 3 탄성체로부터 일측 제 2 탄성체까지 김블 경로를 구성하고, 상기 강화틀의 일측 반원 경로를 구성한 뒤 타측 제 2 탄성체로부터 상기 일측 제2탄성체까지 상기 미러판을 관통하며, 상기 일측 제 2 탄성체로부터 타측 제 3 탄성체까지의 김블 경로를 구성하는 제 1 코일부; 및
상기 일측 제 3 탄성체로부터 타측 제 2 탄성체까지 김블 경로를 구성하고, 상기 타측 제 2 탄성체로부터 상기 일측 제 2 탄성체까지 상기 미러판을 관통하며, 상기 강화틀의 타측 반원 경로를 구성한 뒤 상기 타측 제 2 탄성체로부터 상기 타측 제 3 탄성체까지의 김블 경로를 구성하는 제 2 코일부;
를 포함하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서, 상기 코일은 복선 및 다층 구조로서,
일측 제 3 탄성체의 입력 라인으로부터 분기되어 상기 김블 상에서 원형 경로를 구성하고 타측 제 3 탄성체로 출력 라인을 형성하는 제 1 코일부; 및
상기 제 1 코일부와 절연되고, 상기 일측 제 3 탄성체로부터 일측 제 2 탄성체를 거쳐 상기 강화틀로 진입되며, 상기 강화틀 상에서 원형 경로를 구성한 뒤 타측 제 2 탄성체를 거쳐 상기 타측 제 3 탄성체로 출력 라인을 형성하는 제 2 코일부;
를 포함하는 스캐닝 마이크로미러
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7
제 1항에 있어서, 상기 코일은 복선 및 단층 구조로서,
일측 제 3 탄성체로부터 타측 제 3 탄성체까지 상기 김블 상에서 각각 반원형 경로를 구성하는 제 1 코일부; 및
상기 일측 제 3 탄성체로부터 일측 제 2 탄성체를 거쳐 상기 강화틀로 진입하며, 상기 강화틀 상에서 원형 경로를 구성한 뒤 타측 제 2 탄성체를 거쳐 상기 타측 제 3 탄성체로 출력 라인을 형성하는 제 2 코일부;
를 포함하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서,
상기 지지점이 두 개인 일단은 상기 지지점이 하나인 타단보다 상기 스캐닝 마이크로미러의 내측에 위치하도록 구성되는 스캐닝 마이크로미러
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