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매엽식 웨이퍼 세정 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015054805
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요약 매엽식 웨이퍼 세정 장치 및 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 세정 장치는, 세정액과 세정 대상인 웨이퍼가 수용되는 세정조, 상기 세정조의 하방에 설치된 제1 메가소닉 발진기, 상기 세정조의 측면에 설치된 제2 메가소닉 발진기, 및 상기 세정조로 세정액을 공급하는 세정액 공급관을 포함하여, 웨이퍼에 서로 다른 주파수의 메가소닉 에너지를 동시에 인가하고, 복수의 세정액 공급홀을 통해 세정액을 공급함으로써, 세정효율을 더욱 높일 수 있다. 웨이퍼, 세정, 메가소닉, 주파수.
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/67057(2013.01) H01L 21/67057(2013.01)
출원번호/일자 1020080101122 (2008.10.15)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1014520-0000 (2011.02.07)
공개번호/일자 10-2010-0042015 (2010.04.23) 문서열기
공고번호/일자 (20110214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.15)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이건호 대한민국 경상북도 구미시
2 이재환 대한민국 경상북도 구미시
3 김봉우 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2008-0717568-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.10.27 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.11.13 수리 (Accepted) 9-1-2009-0063045-21
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.07.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0293640-78
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0581704-88
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.09.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0581705-23
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
8 등록결정서
Decision to grant
2011.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0057440-19
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
세정액과 세정 대상인 웨이퍼가 수용되는 세정조; 상기 세정조의 하방에 설치된 제1 메가소닉 발진기; 상기 세정조의 측면에 설치된 제2 메가소닉 발진기; 및 상기 세정조로 세정액을 공급하는 세정액 공급관 을 포함하되, 상기 제2 메가소닉 발진기는 바 타입의 복수의 메가소닉 발진기로 이루어지고, 상기 복수의 메가소닉 발진기는 각각 서로 다른 주파수의 메가소닉을 발생시키며, 상기 세정조의 내부에는 웨이퍼를 세정조의 바닥면에 수직한 방향으로 세워서 지지하는 웨이퍼 지지대가 구비되고, 상기 웨이퍼 지지대는 상기 웨이퍼를 원주 방향으로 회전시키는 회전 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 매엽식 웨이퍼 세정 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 제2 메가소닉 발진기를 이루는 바 타입의 복수의 메가소닉 발진기는, 상기 웨이퍼와 평행하게 상기 웨이퍼의 반경 방향을 따라 방사상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 매엽식 웨이퍼 세정 장치
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4 4
삭제
5 5
세정액과 웨이퍼가 수용된 단일 세정조를 갖는 매엽식 웨이퍼 세정 방법에 있어서, (S1) 상기 세정조의 하방에 설치된 제1 메가소닉 발진기가 상기 세정조에 제1 메가소닉을 인가하는 단계; 및 (S2) 상기 세정조의 측면에 설치된 제2 메가소닉 발진기가 상기 세정조에 제2 메가소닉을 인가하는 단계 를 포함하되, 상기 제2 메가소닉 발진기는 바 타입의 복수의 메가소닉 발진기로 이루어지고, 상기 복수의 메가소닉 발진기는 각각 서로 다른 주파수의 메가소닉을 동시에 인가하며, 상기 S1 단계 또는 상기 S2 단계는, 상기 세정조의 바닥면에 수직한 평면에서 상기 웨이퍼를 원주 방향으로 회전시키면서 수행하는 것을 특징으로 하는 매엽식 웨이퍼 세정 방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 제2 메가소닉 발진기를 이루는 바 타입의 복수의 메가소닉 발진기는, 상기 웨이퍼와 평행하게 상기 웨이퍼의 반경 방향을 따라 방사상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 매엽식 웨이퍼 세정 방법
7 7
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8 8
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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