1 |
1
리드프레임 원소재의 단면 또는 양면에 형성되는 다이패드패턴인 제1영역과 와이어 본딩이 되는 다수의 I/O패턴인 제2영역;
상기 다이패드패턴 및 IO패드 패턴은 리드프레임 원소재의 오목한 에칭패턴으로 구분되며,
상기 다이패드패턴 및 IO패드 패턴의 상부면 및 측면부를 둘러싸는 구조로 도금 또는 유기코팅이 형성되되,
상기 측면부의 도금 또는 유기코팅은 상기 에칭패턴의 깊이보다 작은 길이로 구현되는 리드프레임
|
2 |
2
청구항 1에 있어서,
상기 도금 또는 유기 코팅 물질은,
Ni, Pd, Au, Sn, Ag, Co, Cu 중에서 단일 성분 또는 2원이나 3원의 합금층을 사용하고, 단층 혹은 복층으로 형성된 물질인 것을 특징으로 하는 리드프레임
|
3 |
3
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역 사이 또는 상기 제 2 영역들 사이의 에칭패턴에는 갭 필링(Gap filling) 물질이 충진되는 것을 특징으로 하는 리드프레임
|
4 |
4
청구항 3에 있어서,
상기 갭 필링 물질은,
에폭시 또는 아크릴 레이트를 주재로 하는 물질을 포함한 감광성 고분자 물질인 것을 특징으로 하는 리드프레임
|
5 |
5
리드프레임 원소재에 에칭패턴을 구현하여 다이패드패턴 및 IO패드 패턴을 형성하는 제 1 단계와;
상기 에칭패턴에 갭필링 물질을 충진하는 제 2 단계와;
상기 다이패드패턴 및 IO패드 패턴의 상부면 및 측면부를 둘러싸는 구조로 도금 또는 유기코팅이 형성되되, 상기 측면부의 도금 또는 유기코팅은 상기 에칭패턴의 깊이보다 작은 길이로 구현하는 제 3 단계;
를 포함하여 수행하는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 제조방법
|
6 |
6
청구항 5에 있어서,
상기 제 1 단계는,
상기 리드프레임 원소재의 양면 또는 단면에 감광성물질을 도포하고, 노광 현상, 에칭을 실시하는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 제조방법
|
7 |
7
청구항 5에 있어서,
상기 제 2 단계는,
에폭시 또는 아크릴 레이트를 주재로 하는 물질을 포함한 감광성 고분자 물질을 도포하고 경화시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 제조방법
|
8 |
8
청구항 5에 있어서,
상기 제 2 단계는,
충진되는 부분의 높이를 충진 양과 경과 조건을 조절하여 단차를 두고 충진 시키는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 제조방법
|
9 |
9
청구항 5에 있어서,
상기 제 2 단계는,
갭필링 물질을 양면 또는 단면에 도포하고, 노광/현상을 통해 충진되는 부분의 폭을 조정하여 충진 시키는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 제조방법
|
10 |
10
청구항 5에 있어서,
상기 제 3 단계는,
도금재로 Ni, Pd, Au, Sn, Ag, Co, Cu 중에서 단일 성분 또는 2원이나 3원의 합금층을 사용하고, 단층 혹은 복층으로 도금되도록 하는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 제조방법
|
11 |
11
청구항 5에 있어서,
상기 리드프레임의 제조방법은,
상기 제 3 단계 후 갭필링 재료를 제거하는 제 4 단계;
를 더욱 포함하여 수행하는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 제조방법
|
12 |
12
청구항 11에 있어서,
상기 리드프레임의 제조방법은,
상기 제 3 단계 직후 또는 상기 제 4 단계 직후 하부에서 에칭하는 하부에칭단계;
를 더욱 포함하여 수행하는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 제조방법
|
13 |
13
청구항 12에 있어서,
상기 리드프레임의 제조방법은,
상기 하부에칭단계 직후 하부에 도금 및 유기 코팅을 하는 도금코팅단계;
를 더욱 포함하여 수행하는 것을 특징으로 하는 리드프레임의 제조방법
|
14 |
14
리드프레임 원소재의 단면 또는 양면에 형성되는 다이패드패턴인 제1영역과 와이어 본딩이 되는 다수의 I/O패턴인 제2영역; 상기 다이패드패턴 및 IO패드 패턴은 리드프레임 원소재의 오목한 에칭패턴으로 구분되며, 상기 다이패드패턴 및 IO패드 패턴의 상부면 및 측면부를 둘러싸는 구조로 도금 또는 유기코팅이 형성되되, 상기 측면부의 도금 또는 유기코팅은 상기 에칭패턴의 깊이보다 작은 길이로 구현되는 리드프레임과,
상기 제 1 영역에 실장되는 반도체 칩과;
상기 제 2 영역에 연결되는 와이어 본딩부와;
상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역의 상부, 상기 반도체 칩, 상기 와이어 본딩부를 덮도록 몰딩된 것을 특징으로 하는 반도체 패키지
|
15 |
15
리드프레임 원소재에 에칭패턴을 구현하여 다이패드패턴 및 IO패드 패턴을 형성하는 제 1 단계와;
상기 에칭패턴에 갭필링 물질을 충진하는 제2단계와;
상기 다이패드패턴 및 IO패드 패턴의 상부면 및 측면부를 둘러싸는 구조로 도금 또는 유기코팅이 형성되되, 상기 측면부의 도금 또는 유기코팅은 상기 에칭패턴의 깊이보다 작은 길이로 구현하는 제 3 단계;
상기 제 3 단계 후 칩을 실장하는 제 4 단계와;
상기 제 4 단계 후 와이어 본딩하는 제 5 단계와;
상기 제 5 단계 후 몰딩하는 제 6 단계;
를 포함하여 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 제조방법
|
16 |
16
청구항 15에 있어서,
상기 반도체 패키지의 제조방법은,
상기 제 6 단계 후 하부를 도금 하는 제 7 단계;
를 더욱 포함하여 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 제조방법
|
17 |
17
청구항 16에 있어서,
상기 반도체 패키지의 제조방법은,
상기 제 3 단계 직후 또는 상기 제 6 단계 직후 하부에서 에칭하는 하부에칭단계;
를 더욱 포함하여 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 제조방법
|