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웨이퍼 운반용 박스를 세정하고 건조시키는 박스클리닝 장치에 상기 박스를 적재한 상태로 투입되는 트레이에 있어서,
상기 박스의 몸체가 설치되는 몸체 고정부; 및
상기 박스의 덮개가 회전 가능하게 설치되는 덮개 고정부;를 포함하고,
상기 덮개 고정부는,
덮개를 파지하는 파지부재; 및
파지부재를 회전시키는 회전부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 박스클리닝 장치용 트레이
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제1항에 있어서,
회전부는,
파지부재와 연결되고, 회전가능하게 설치된 휠; 및
상기 휠에 미리 정해진 간격으로 설치된 회전용 평판;을 포함하여,
상기 박스를 건조시키기 위하여 박스클리닝 장치로부터 분사되는 고압의 기체가 회전용 평판에 충돌하여 휠이 회전되는 것을 특징으로 하는 박스클리닝 장치용 트레이
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제1항에 있어서,
회전부는,
트레이의 프레임에 설치된 지지부재;
지지부재에 설치된 회전축;
회전축의 양단에 설치되되, 파지부재와 연결된 연결부재;
파지부재에 설치된 휠; 및
휠을 따라 미리 정해진 간격으로 설치된 회전용 평판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 박스클리닝 장치용 트레이
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 박스는 FIMS FOSB(front-opening interface mechanical standard front opening shipping box)인 것을 특징으로 하는 박스클리닝 장치용 트레이
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5
제3항에 있어서,
파지부재는,
사각 형상의 제1,2 사각형 와이어를 포함하고, 제1,2 사각형 와이어는 수직으로 서로 겹쳐지도록 설치되되, 제2 사각형 와이어는 연결부재에 설치되고, 제1 사각형 와이어는 제1 사각형 와이어에 용접되어 설치되며,
제1 사각형 와이어는 양쪽 끝단이 수직으로 절곡되어 이루어진 제1 절곡부를 포함하고, 제2 사각형 와이어는 양쪽 끝단이 수직으로 절곡되어 이루어진 제2 절곡부를 포함하여, 제1,2 절곡부에 의하여 덮개의 네 변이 지지되는 것을 특징으로 하는 박스클리닝 장치용 트레이
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웨이퍼 운반용 박스를 적재한 트레이를 박스클리닝 장치에 투입하여 상기 박스를 세정하고 건조시키는 방법에 있어서,
상기 박스의 덮개를 회전시키면서 건조시키는 것을 특징으로 하는, 박스클리닝 장치용 트레이를 이용한 웨이퍼 운반용 박스의 건조방법
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제6항에 있어서,
상기 덮개는 덮개 고정부에 회전가능하도록 적재되고,
상기 트레이가 박스클리닝 장치의 내부를 이동하는 도중에 고온 고압의 기체를 노즐을 통하여 분사하여 덮개를 건조시키되, 상기 기체 중 적어도 일부가 덮개에 집중되도록 노즐 중 적어도 두 개 이상이 덮개 고정부를 향하도록 휘어있는 것을 특징으로 하는, 박스클리닝 장치용 트레이를 이용한 웨이퍼 운반용 박스의 건조방법
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