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쵸크랄스키 법에 의한 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치에 구비되어, 실리콘 단결정 잉곳을 성장시키는 시드를 결합 고정시키는 시드척에 있어서,
상부에 상승 또는 하강하는 로프가 체결되는 로프 체결부가 형성되고, 하부에 상기 시드가 수용되어 고정되는 시드 결합부가 형성된 시드척 몸체;를 포함하고,
상기 시드척 몸체에는 내부에 진공 상태를 유지한 채 일정량의 냉매를 충진시킨 후 양 끝단을 밀봉시켜 형성된 냉각 파이프가 삽입될 수 있도록 상기 시드척 몸체에 삽입홀이 형성되고, 상기 삽입홀에 상기 냉각 파이프가 결합되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척
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제1항에 있어서,
상기 삽입홀은 일정 각도 기울어지게 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척
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제1항에 있어서,
상기 냉각 파이프의 외부 중간부에는 열 분리 판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척
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제1항에 있어서,
상기 삽입홀은 상기 시드척 몸체의 길이 방향을 따라 방사상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척
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제1항에 있어서,
상기 냉각 파이프는 상기 삽입홀에 끼움 맞춤으로 삽입하여 결합하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척
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제5항에 있어서,
상기 삽입홀 내부와 냉각 파이프 외면 일부분에는 각각 대응되는 암수 나사선이 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척
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쵸크랄스키 법에 의한 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치에 구비되어, 실리콘 단결정 잉곳을 성장시키는 시드를 결합 고정시키는 시드척에 있어서,
상부에 상승 또는 하강하는 로프가 체결되는 로프 체결부가 형성되고, 하부에 상기 시드가 수용되어 고정되는 시드 결합부가 형성된 시드척 몸체;를 포함하고,
상기 시드척 몸체에는 몸체 내부로 냉매가 유동될 수 있도록 유입구와 유출구를 구비하는 수냉관이 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척
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제7항에 있어서,
상기 수냉관에 유동되는 냉매는 액상 냉매인 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척
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제7항에 있어서,
상기 수냉관의 유입구와 유출구를 통해 냉매가 순환될 수 있도록 하는 순환 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척
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