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내부에 가스가 충진되는 밀폐공간을 갖는 디텍터 몸체와 상기 디텍터 몸체에 형성되는 전극;상기 디텍터 몸체의 내부에 형성되어 픽셀을 구현하는 적어도 1 이상의 차단격벽;상기 차단격벽으로 구획되어 픽셀을 형성하는 다수의 리드아웃 전극; 및상기 리드아웃 전극의 하부에 형성되는 광도전체층;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 X-레이 이미지 검출용 디텍터
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청구항 1에 있어서,상기 광도전체층은 MgO, HgI2, CdS, CdTe, a-Se 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 X-레이 이미지 검출용 디텍터
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청구항 1에 있어서,상기 디텍터 몸체는 상부기판과 하부기판을 포함하며, 상기 전극은 상부기판에 형성되는 것을 특징으로 하는 X-레이 이미지 검출용 디텍터
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4
청구항 1에 있어서,상기 디텍터 몸체는 상부기판과 하부기판을 포함하며, 상기 전극은 상부기판에 형성되는 제1전극과 하부기판상에 형성되는 제2전극으로 형성되는 것을 특징으로 하는 X-레이 이미지 검출용 디텍터
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5 |
5
청구항 4에 있어서,상기 제2전극의 상부에는 유전체층을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 X-레이 이미지 검출용 디텍터
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6 |
6
청구항 3 또는 4에 있어서,상기 차단격벽은 상기 리드아웃 전극보다 높게 형성되며, 적어도 일부가 상부기판과 맞닿지 않는 것을 특징으로 하는 X-레이 이미지 검출용 디텍터
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7 |
7
청구항 6에 있어서,상기 차단격벽은 세라믹, 플라스틱, 고분자막 중 선택된 어느 하나의 재료에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 X-레이 이미지 검출용 디텍터
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8
청구항 4 또는 5에 있어서,상기 제1전극 및 제2전극에 인가된 전압에 의해 형성되는 전자 및 정공에 의한 신호량을 리드아웃 전극으로부터 읽어들이는 회로부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 X-레이 이미지 검출용 디텍터
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9 |
9
청구항 3 또는 4에 있어서,상기 전극 또는 리드아웃 전극은 실버(sliver) 전극인 것을 특징으로 하는 X-레이 이미지 검출용 디텍터
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10 |
10
청구항 1에 있어서,상기 충진되는 가스는 순수 페닝가스로서 Xe, Kr, Ar, Ne, He 중 선택된 어느 하나 또는 이들 중 선택되는 2 이상의 가스를 혼합한 것임을 특징으로 하는 X-레이 이미지 검출용 디텍터
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