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쉐도우 마스크의 제작방법

  • 기술번호 : KST2015055216
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 쉐도우 마스크의 제작방법에 관한 것으로, 베이스 기판 상에 메탈층을 증착하는 단계; 상기 메탈층 상에 금속을 도금하여 마스크 패턴을 형성시키는 단계 및 상기 베이스 기판과 상기 마스크 패턴이 형성된 메탈층을 분리시키는 단계를 포함한다. 쉐도우마스크, 분리, 마스크처짐
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC C23C 14/042(2013.01) C23C 14/042(2013.01)
출원번호/일자 1020080111578 (2008.11.11)
출원인 엘지이노텍 주식회사
등록번호/일자 10-1583821-0000 (2016.01.04)
공개번호/일자 10-2010-0052738 (2010.05.20) 문서열기
공고번호/일자 (20160111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.23)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지이노텍 주식회사 대한민국 서울특별시 강서구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김혜민 대한민국 경기 부천시 원미구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김기문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동 현죽빌딩)(한미르특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지이노텍 주식회사 대한민국 서울특별시 중구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0778985-06
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0209808-88
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.07.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5146412-87
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.02.24 수리 (Accepted) 4-1-2010-5032116-06
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2013.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0958244-22
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.10.27 수리 (Accepted) 4-1-2014-0093826-77
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0873089-17
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0162421-84
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.02.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0162422-29
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0484581-33
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0472477-14
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.08.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0796988-96
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.08.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0796986-05
14 등록결정서
Decision to grant		 2015.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0824098-14
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.03.08 수리 (Accepted) 4-1-2017-5035901-08
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5136723-03
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.01.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5011221-01
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판이 제공되는 단계; 상기 기판에 금속 쉐도우 마스크를 정렬하는 단계; 및 상기 금속 쉐도우 마스크에 의해 증착물질을 선택적으로 통과시켜 상기 기판상에 증착시키는 단계;를 포함하고, 상기 기판 하부에 상기 금속 쉐도우 마스크를 정렬하는 단계는, 상기 증착공정을 위해 제공된 상기 기판 상부에 자성체를 부착하고, 상기 기판 하부에 상기 금속 쉐도우 마스크를 자력에 의해 정렬하는 특징이 있는 컬러필터 제조방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 기판 하부에 상기 금속 쉐도우 마스크를 정렬하는 단계는, 상기 자성체 외에, 상기 금속 쉐도우 마스크를 지지해주는 지지수단 없이 상기 금속 쉐도우 마스크가 상기 기판 하부에 밀착하여 정렬되는 컬러필터 제조방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1 항에 있어서, 상기 금속 쉐도우 마스크는 레드(red) 쉐도우 마스크, 그린(green) 쉐도우 마스크, 블루(blue) 쉐도우 마스크 중 적어도 하나인 컬러필터 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 금속 쉐도우 마스크는, 제1 영역이 오픈된 메탈층 패턴과 상기 메탈층 패턴 상에 위치하는 상기 제1 영역의 대응영역이 오픈된 금속 도금층 패턴을 포함하는 컬러필터 제조방법
7 7
제6 항에 있어서, 상기 메탈층은 철, 니켈, 크롬 중 적어도 하나를 포함하는 컬러필터 제조방법
8 8
제6 항에 있어서, 상기 금속 도금층 패턴의 대응영역은 상기 메탈층 패턴의 상기 제1 영역과 상하간에 중첩되는 컬러필터 제조방법
9 9
제1 항에 있어서, 상기 금속 쉐도우 마스크는 블랙 매트릭스 쉐도우 마스크를 포함하는 컬러필터 제조방법
10 10
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11 11
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12 12
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13 13
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.