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실리콘 멜트(Silicon Melt)를 성장시켜 실리콘 단결정 잉곳을 제조하는 실리콘 단결정 제조장치에 구비되는 도가니 지지대에 있어서,
상기 도가니 지지대는,
봉 형상으로 형성되는 페데스탈(pedestal); 및
상기 페데스탈의 일측에 형성되되, 상기 실리콘 멜트를 수용하는 수단을 지지하는 도가니 지지판;
를 포함하고,
상기 페데스탈의 외면에 함몰 형성되는 함몰부가 구비되는 것을 특징으로 하는 도가니 지지대
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제 1항에 있어서,
상기 페데스탈은 타측이 원뿔 형상이 형성된 원기둥 형상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 도가니 지지대
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제 1항에 있어서,
상기 함몰부는 상기 페데스탈의 외면을 따라 형성되는 나선형(spiral)의 형상인 것을 특징으로 하는 도가니 지지대
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제 1항에 있어서,
상기 함몰부는 상기 페데스탈의 외면에 상하 방향으로 형성되는 직선 형상인 것을 특징으로 하는 도가니 지지대
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제 4항에 있어서,
상기 직선 형상의 함몰부는 상기 페데스탈의 상하 방향 중심축에 대해 경사지게 배치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 도가니 지지대
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제 1항에 있어서,
상기 함몰부는,
상기 페데스탈의 상하 방향을 가로지르는 직선 파트; 및
상기 직선 파트에서 가로 방향으로 연장 형성되되, 상기 페데스탈의 외주면을 감싸는 형상으로 형성되는 연장 파트;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 도가니 지지대
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제 6항에 있어서,
상기 연장 파트에 의해 형성되는 가상의 평면은 상기 페데스탈의 상하 방향 중심축과 경사지게 배치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 도가니 지지대
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챔버;
석영 도가니;
상기 석영 도가니의 외연 하부를 감싸면서 지지하는 흑연 도가니;
상기 흑연 도가니를 지지하면서 상기 석영 도가니와 흑연 도가니를 회전, 상승 또는 하강시키되, 봉 형상으로 형성된 일측 외면에 내부 방향으로 함몰 형성되는 함몰부가 구비되는 페데스탈을 포함하는 도가니 지지대;
상기 흑연 도가니의 외면으로부터 일정 거리 이격되어 상기 챔버의 측벽부의 내부에 설치되어 전기 공급에 따라 열을 발생하는 그라파이트 히터(graphite heater); 및
상기 챔버의 외부로 방출되는 열을 차단하도록 상기 챔버 내부 측벽부에 설치된 열차폐 구조체;
를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조장치
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제 8항에 있어서,
상기 함몰부는 나선형(spiral)의 형상인 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조장치
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제 8항에 있어서,
상기 함몰부는 상기 챔버의 하부 방향으로 형성되는 직선 형상인 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조장치
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제 10항에 있어서,
상기 직선 형상의 함몰부는 상기 페데스탈의 상하 방향 중심축에 대해 경사지게 배치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조장치
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제 8항에 있어서,
상기 함몰부는,
상기 페데스탈의 상하 방향을 가로지르는 직선 파트; 및
상기 직선 파트에서 양측으로 연장 형성되되, 상기 페데스탈의 원주면을 감싸는 형상으로 형성되는 연장 파트;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조장치
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제 12항에 있어서,
상기 연장 파트는 상기 연장 파트에 의해 형성되는 가상의 평면이 상기 페데스탈의 상하 방향 중심축과 경사지게 배치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조장치
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제 8항에 있어서,
상기 챔버는 상기 페데스탈의 일부가 외부로 노출되는 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀의 내측에는 튜브가 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조 장치
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제 14항에 있어서,
상기 관통홀의 상기 튜브와 인접한 부위는 상기 챔버의 내측으로 돌출형성되어 상기 페데스탈 방향으로 이물질이 진입되는 것을 방지하도록 하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조 장치
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