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복합기능 마이크로렌즈 어레이 기판 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015055435
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요약 본 발명은 복합기능 마이크로 렌즈 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 이 복합기능 마이크로 렌즈 어레이 기판은 적외선 차단필터와, 나노구조의 올록볼록한 반사방지 표면을 가지도록 형성된다. 이로써, 광효율의 증대와 선명한 화질의 갖는 복합기능 마이크로 렌즈 어레이 기판을 구현할 수 있다. 마이크로 렌즈 어레이 기판, 반사방지 나노구조, 적외선 차단 필터
Int. CL G02B 5/20 (2006.01) B82Y 20/00 (2011.01) G02B 5/02 (2006.01)
CPC G02B 5/281(2013.01) G02B 5/281(2013.01) G02B 5/281(2013.01) G02B 5/281(2013.01) G02B 5/281(2013.01)
출원번호/일자 1020080115237 (2008.11.19)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-1042707-0000 (2011.06.13)
공개번호/일자 10-2010-0056183 (2010.05.27) 문서열기
공고번호/일자 (20110620) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.19)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최춘기 대한민국 대전광역시 유성구
2 오상순 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0798192-75
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0531791-70
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2011-0010617-12
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.01.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0010618-57
6 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee
2011.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0003092-60
7 등록결정서
Decision to grant
2011.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0270142-04
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부층; 상기 상부층 상에 위치하되, 나노구조의(nanostructured) 올록볼록한 표면을 가지는 복수개의 마이크로렌즈들; 상기 상부층 하부에 위치하는 하부층; 상기 하부층과 상기 상부층 사이에 개재된 굴절률조화물질층; 및 상기 하부층하부의 소정 부분에 위치하는 발광소자를 포함하되, 상기 마이크로 렌즈들은 상기 발광 소자의 중심과 중첩되는 위치에서 상기 상부층의 표면을 노출하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 기판
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 상부층 하부에 위치하는 적외선 차단필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 기판
3 3
삭제
4 4
상부층 상에 복수개의 마이크로렌즈들을 형성하는 단계; 및 상기 마이크로렌즈의 표면을 나노구조의(nanostructured) 올록볼록한 형태로 만드는 단계를 포함하되, 상기 마이크로렌즈의 표면을 나노구조의(nanostructured) 올록볼록한 형태로 만드는 단계는, 나노 구체를 상기 마이크로 렌즈 표면에 도포하는 단계; 상기 상부층을 베이킹(baking)하는 단계; 및 상기 나노 구체를 식각 마스크로 이용하여 상기 마이크로 렌즈 표면에 대해 플라즈마 에칭 공정을 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합기능 마이크로 렌즈 어레이 기판의 제조 방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 상부층 하부면에 적외선 차단 필터를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합기능 마이크로 렌즈 어레이 기판의 제조 방법
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 상부층 하부면에 적외선 차단 필터를 형성하는 단계는, 저온 플라즈마 코팅 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합기능 마이크로 렌즈 어레이 기판의 제조 방법
7 7
상부층 상에 복수개의 마이크로렌즈들을 형성하는 단계; 및 상기 마이크로렌즈의 표면을 나노구조의(nanostructured) 올록볼록한 형태로 만드는 단계를 포함하되, 상기 마이크로렌즈의 표면을 나노구조의(nanostructured) 올록볼록한 형태로 만드는 단계는, 나노 크기의 홀들을 가지는 나노 마스크를 이용하여 플라즈마 에칭 공정을 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합기능 마이크로 렌즈 어레이 기판의 제조 방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 나노 마스크는 양극 산화에 의해 형성된 나노홀을 포함하는 양극 알루미늄 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 복합기능 마이크로 렌즈 어레이 기판의 제조 방법
9 9
삭제
10 10
제 4 항에 있어서, 상기 나노구체는 100nm~500nm의 직경을 가지는 구체이며, 고분자 또는 세라믹 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 복합기능 마이크로 렌즈 어레이 기판의 제조 방법
11 11
제 5 항에 있어서, 상기 적외선 차단 필터 하부에, 하부층을 결합시키는 단계; 상기 적외선 차단 필터와 상기 하부층 사이에 굴절률 조화 물질층을 주입하는 단계; 및 상기 하부층의 하부면에 발광 소자를 부착시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 기능 마이크로 렌즈 어레이 기판의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.