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빛을 편광시켜 일부의 편광을 대물렌즈부로 금속박막(42)에 집속시켜 반사된 편광을 검출하는 다중입사면/다중입사각 측정법을 사용한 수직입사형 초점타원 계측기;
상기 초점타원계측기의 대물렌즈부에 구비되어 편광된 빛의 각도변화에 의한 표면 플라즈몬 공명을 일으키도록, 일부의 편광을 집속시키며 수렴렌즈(converging lens)로 된 제 1 렌즈(41)와, 상기 제 1 렌즈(41)와 함께 고 개구수 현미경 대물렌즈 역할을 하며, 구면 혹은 비구면 형상의 한 개의 렌즈 혹은 여러 개의 렌즈로 구성된 렌즈 군으로 되고, 하부에 금속박막(42)이 증착된 제 2 렌즈(43)를 포함하여 이루어지는 표면 플라즈몬 공명 센서부(40);
표면플라즈몬을 일으키는 금속박막에 흡착 혹은 탈착을 일으키는 바이오 물질을 포함한 완충(Buffer)용액을 보급하는 유로장치(1);
를 포함하여 이루어지며, 각도변화와 파장변화에 의한 표면 플라즈몬 공명과 타원계측 위상변화를 동시에 검출하는 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 수직입사형 초점타원계측기는,
광원(10), 상기 광원(10)으로부터 발생된 빛을 편광시키는 편광자(20), 상기 편광자(20)로부터 편광된 빛을 분할하는 광분할기(30), 상기 광분할기(30)로부터 분할된 일부의 편광을 상기 금속박막(42)에 집속시키는 대물렌즈부, 상기 금속박막(42)으로부터 반사되어 상기 광분할기(30)를 통과한 빛을 편광시키며 편광된 빛을 검출하는 검광수단(50), 상기 검광수단(50)에 의해 검출된 편광된 빛의 진폭과 위상을 검출하는 광검출기(60), 상기 광검출기(60)에 의해 검출된 타원계측 위상변화를 연산처리하는 연산처리장치(70)를 포함하는 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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제 2 항에 있어서, 상기 광원(10)은 단파장 혹은 자외선, 가시광선, 적외선 영역의 파장대역을 방출하는 광원, 파장가변 레이저 또는 다이오드의 파장가변 광원으로부터 선택되는 어느 하나로 된 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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제 2 항에 있어서
상기 검광수단(50)은 검광자, 단일 편광자 광분할기, 광분할기와 편광자로부터 선택되는 어느 하나를 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 표면 플라즈몬 공명 센서부(40)는,
일부의 편광을 집속시키며, 여러 개의 렌즈로 이루어진 일체형 고 개구수의 대물렌즈나 SIL렌즈(Solid Immersion Lens)로 된 제 3 렌즈(44)와,
상기 제 3 렌즈(44) 하부에 구비되며 하부에 금속박막(42)이 증착된 유리기판(45)과,
상기 제 3 렌즈(44)와 상기 유리기판(45) 사이에 게재되어 상기 제 3 렌즈(44)의 굴절률과 상기 유리기판(45)의 굴절률을 서로 매칭시키는 굴절률 매칭물질(46)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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제 2 항에 있어서, 상기 검광수단(50)은,
상기 금속박막(42)으로부터 반사되어 상기 표면 플라즈몬 공명 센서부(40) 및 상기 광분할기(30)를 통과한 빛을 편광시키는 제 2 편광자(51)와,
상기 편광자(51)에 의해 편광된 빛을 통과시키는 슬릿(52)과,
상기 슬릿(52)을 통과한 편광을 검출하는 분광기(53)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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제 7 항에 있어서,
상기 편광자(20) 혹은 제 2 편광자(51)를 회전시키거나 편광변조시키는 수단이 더 구비된 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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제 7 항에 있어서,
빛의 진행방향에 대하여 수직방향으로 상기 제 2 편광자(51)를 회전시키는 회전수단이 더 구비되어, 상기 제 2 편광자(51)에 의해 편광된 빛이 각각의 입사각들에 대해서 독립적으로 상기 분광기(53)에 의해 파장특성이 검출되도록 하는 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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10
제 2 항에 있어서,
상기 광분할기(30)와 상기 표면 플라즈몬 공명 센서부(40) 사이 또는 상기 광분할기(30)와 상기 광검출기(60) 사이에 위치하여 상기 광분할기(30)로부터 분할된 빛을 보상하기 위한 보상기(80)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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11
제 10 항에 있어서,
빛의 진행방향에 대하여 수직방향으로 상기 보상기(80)를 회전시키는 회전수단이 더 구비되어, 상기 보상기(80)를 통해 보상된 빛이 각각의 입사각들에 대해서 상기 검광수단(50)에 의해 검출되도록 하는 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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제 2 항에 있어서,
상기 광원(10)과 상기 편광자(20) 사이에 설치되어 상기 광원(10)으로부터 발생된 빛을 평행광으로 만들어 상기 편광자(20)로 전달하는 시준기(90)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 표면 플라즈몬 공명 센서부(40)는,
일부의 편광을 집속시키며 수렴렌즈(converging lens)로 된 제 1 렌즈(41)와,
상기 제 1 렌즈(41)와 함께 고 개구수 현미경 대물렌즈 역할을 하며, 구면 혹은 비구면 형상의 한 개의 렌즈 혹은 여러 개의 렌즈로 구성된 렌즈 군으로 된 제 2 렌즈(43)와,
상기 제 2 렌즈(43) 하부에 구비되며 하부에 금속박막(42)이 증착된 유리기판(미도시됨)과,
상기 제 2 렌즈(43)와 상기 유리기판 사이에 게재되어 상기 제 2 렌즈(43)의 굴절률과 상기 유리기판의 굴절률을 서로 매칭시키는 굴절률 매칭물질(미도시됨)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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제 1 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 수렴렌즈는 양볼록(bi-convex), 평면-볼록(plano-convex), 미니스커스(miniscus) 형태 중 하나의 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치
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