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테이프 연마기

  • 기술번호 : KST2015055587
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요약 테이프 연마기가 개시된다. 와인더는 원판 형상으로 형성되고, 회전 운동 가능하게 설치되며, 외주면에 연마 테이프가 감긴다. 구동 수단은 와인더가 회전 운동하도록 구동력을 제공한다. 그리고 와인더 감지 센서는 와인더의 회전 운동을 감지하며, 구동 수단 감지 센서는 구동 수단의 운동을 감지한다. 본 발명에 따르면, 와인더가 정상 동작하지 않는 경우, 와인더의 동작을 정지시키거나 경고음을 발생시켜 작업자에게 알려 웨이퍼의 불량을 감소시킬 수 있다. 연마 테이프, 웨이퍼, 와인더, 발광 센서, 수광 센서
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC B24B 9/065(2013.01) B24B 9/065(2013.01)
출원번호/일자 1020080119267 (2008.11.28)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1025263-0000 (2011.03.21)
공개번호/일자 10-2010-0060608 (2010.06.07) 문서열기
공고번호/일자 (20110329) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.28)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최창석 대한민국 부산광역시 연제구
2 최원구 대한민국 경상북도 구미시
3 김근태 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)
2 박보경 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0820944-65
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0421318-06
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0749879-43
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.11.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0749883-26
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
6 등록결정서
Decision to grant
2011.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0153967-87
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
원판 형상으로 형성되고, 회전 운동 가능하게 설치되며, 외주면에 연마 테이프가 감기는 와인더; 상기 와인더가 회전 운동하도록 구동력을 제공하는 구동 수단; 상기 와인더의 회전 운동을 감지하는 와인더 감지 센서; 및 상기 구동 수단의 운동을 감지하는 구동 수단 감지 센서;를 포함하고, 상기 와인더에는 상기 와인더의 양측을 관통하는 관통공이 형성되고, 상기 와인더 감지 센서는 상기 와인더를 사이에 두고 서로 마주보게 배치되는 발광센서와 수광센서를 구비하며, 상기 발광센서에서 방출되는 광신호는 상기 관통공을 통해 상기 수광센서로 입사되는 것을 특징으로 하는 테이프 연마기
3 3
제2항에 있어서, 상기 관통공은 상기 와인더의 둘레를 따라 일정 간격으로 복수 개 형성되는 것을 특징으로 하는 테이프 연마기
4 4
제2항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 와인더 감지 센서와 상기 구동 수단 감지 센서로부터 출력된 감지 신호를 입력받고, 상기 감지 신호를 분석하여, 상기 구동 수단이 제공하는 구동력에 대응되게 상기 와인더가 회전 운동하는지 여부를 판별하는 와인더 동작 판별부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 연마기
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제4항에 있어서, 상기 와인더 동작 판별부는 상기 와인더에 상기 구동 수단이 제공하는 구동력이 전달되지 않을 때, 상기 와인더와 상기 구동 수단의 동작을 정지시키는 차단 장치 또는 경고음 발생기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프 연마기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.