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흑연도가니(200) 상부에 다수의 탄화규소 단결정 종자정(301)을 위치시키고, 상기 흑연도가니(200) 하부에 탄화규소 분말(302)을 위치시켜 하부와 상부 사이에 온도차가 발생하도록 하여 하부의 탄화규소 분말(302)이 승화하여 상부의 탄화규소 단결정 종자정(301)에서 재결정화되어 단결정을 성장시키는 탄화규소 단결정 성장을 위한 장치에 있어서,
상기 탄화규소 단결정 종자정(301)과 탄화규소 분말(302) 사이에 위치되고 상기 흑연도가니(200) 외벽에 접촉형성되어 상기 탄화규소 단결정 종자정(301)보다 고온을 유지하며, 상기 다수의 탄화규소 단결정 종자정(301)에 대응되는 다수의 성장공간(110)이 형성된 흑연성장틀(100)이 구비된 것을 특징으로 하는 다수의 탄화규소 단결정 성장을 위한 장치
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제 1항에 있어서, 상기 성장공간(110)은,
단면의 형태가 원형 또는 육각형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 다수의 탄화규소 단결정 성장을 위한 장치
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제 2항에 있어서, 상기 성장공간(110)은,
상기 탄화규소 단결정이 성장함에 따라 직경이 확대되도록 하측으로 갈수록 단면의 너비가 확대되어 탄화규소 단결정이 원뿔형 또는 육각뿔형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 다수의 탄화규소 단결정 성장을 위한 장치
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제 3항에 있어서, 상기 탄화규소 단결정의 확대각(111)은 0도부터 45도까지인 것을 특징으로 하는 다수의 탄화규소 단결정 성장을 위한 장치
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제 1항에 있어서, 상기 흑연성장틀(100)은,
상기 흑연도가니(200) 내부에 일정한 높이에 위치되도록 상기 흑연도가니(200) 내부에 형성된 고정홈(210)에 안착되는 것을 특징으로 하는 다수의 탄화규소 단결정 성장을 위한 장치
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제 1항 내지 제 4항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 흑연성장틀(100)은,
상기 탄화규소 단결정 종자정(301)에서부터 탄화규소 분말(302)의 표면에 인접하는 위치까지 길이가 길게 형성되는 것을 특징으로 하는 다수의 탄화규소 단결정 성장을 위한 장치
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