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입사되는 전자빔에 대하여 에너지별 집속 경로가 형성되도록 하는 전자빔 분광계에 있어서,
전자빔 입사구, 제1 개구, 및 제2 개구를 갖는 박스 형태의 상자;
상기 상자 안에 구비되고, 상하로 설치된 두 개의 삼각형 모양의 자석;
상기 상자 안에 상기 제1 개구를 통해 보이는 위치에 구비되고, 상기 두 개의 삼각형 모양의 자석을 제거한 후, 상기 전자빔 입사구로 입사되는 전자빔의 발산도를 측정하기 위한 제1 감광 필름; 및
상기 상자 안에 상기 제2 개구를 통해 보이는 위치에 구비되고, 상기 전자빔 입사구로 입사되는 전자빔이 상기 두 개의 삼각형 모양의 자석 사이를 통과하여 에너지별로 특정 위치로 집속되는 전자빔의 해당 위치를 측정하기 위한 제2 감광 필름을 포함하고,
상기 두 개의 삼각형 모양의 자석의 세기, 상기 두 개의 삼각형 모양의 자석의 경사면의 기울기, 상기 발산도에 따른 상기 두 개의 삼각형 모양의 자석의 위치, 또는 상기 제2 감광 필름의 경사도를 포함한 정보를 데이터베이스화하여,
상기 전자빔의 발산도 또는 에너지에 따라 상기 데이터베이스화된 정보의 해당 항목을 기초로, 상기 전자빔이 상기 제2 감광 필름에 에너지별로 집속되는 위치를 측정하기 위한 것을 특징으로 하는 전자빔 분광계
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제1항에 있어서, 상기 제2 감광 필름은,
상기 발산도에 따라 고정축을 중심으로 회전하여 일정 경사도를 갖도록 한 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 분광계
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제1항에 있어서,
상기 전자빔이 상기 제2 감광 필름에 에너지별로 집속되는 위치의 측정에 기초하여 에너지별로 전자빔을 분리하거나 특정 에너지대의 전자빔을 선택하기 위한 것을 특징으로 하는 전자빔 분광계
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박스 형태의 상자 내부로 입사되는 전자빔에 대하여 에너지별로 집속 경로가 형성되도록 하는 전자빔 분광계의 동작 방법에 있어서,
상기 상자에 구비된 전자빔 입사구로 전자빔을 입사해 상기 상자의 내부에 구비된 제1 감광 필름으로 발산도를 측정하는 단계;
상기 상자의 내부에 두 개의 삼각형 모양의 자석을 상하로 설치하는 단계;
상기 전자빔 입사구로 입사되는 전자빔이 상기 두 개의 삼각형 모양의 자석 사이를 통과한 전자빔에 대하여 상기 상자의 내부에 구비된 제2 감광 필름을 이용해 에너지별로 특정 위치로 집속되는 전자빔의 해당 위치를 측정하는 단계; 및
상기 두 개의 삼각형 모양의 자석의 세기, 상기 두 개의 삼각형 모양의 자석의 경사면의 기울기, 상기 발산도에 따른 상기 두 개의 삼각형 모양의 자석의 위치, 또는 상기 제2 감광 필름의 경사도를 포함한 정보를 데이터베이스화하는 단계를 포함하고,
상기 전자빔의 발산도 또는 에너지에 따라 상기 데이터베이스화된 정보의 해당 항목을 기초로, 상기 전자빔이 상기 제2 감광 필름에 에너지별로 집속되는 위치를 측정하기 위한 것을 특징으로 하는 전자빔 분광계의 동작 방법
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