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단결정 잉곳의 마운팅을 위한 가이드 빔 및 이를 이용한 마운팅 방법

  • 기술번호 : KST2015055763
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요약 슬라이싱 공정시 단결정 잉곳 양쪽 끝 사이드(side)부의 웨이퍼 나노토포그래피(nano topography) 품질 열위가 발생하는 것을 해결할 수 있는 새로운 마운팅 장치 부품과 마운팅 방법을 제공한다. 본 발명에서 제공하는 새로운 마운팅 장치 부품은 가이드 빔(guide beam)으로서, 와이어 쏘잉될 단결정 잉곳의 적어도 어느 한쪽 단면에 부착되어 상기 잉곳 절단시 휘어짐을 방지한다. 본 발명에 따르면, 가이드 빔을 적용함에 따라 커팅 후반부 휨을 방지함으로써, 워피지(warpage) 및 웨이비니스(waviness) 발생을 제어하여 나노토포그래피 품질을 개선할 수 있다.
Int. CL B82Y 30/00 (2011.01) H01L 21/301 (2006.01)
CPC B28D 5/0058(2013.01) B28D 5/0058(2013.01)
출원번호/일자 1020080123944 (2008.12.08)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1006866-0000 (2011.01.03)
공개번호/일자 10-2010-0065563 (2010.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (20110112) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.08)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이경무 대한민국 경북 구미시
2 김양섭 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)
2 박보경 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0843540-17
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0425985-11
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.11.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0756390-94
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0756386-11
5 등록결정서
Decision to grant
2010.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0600429-64
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
와이어 쏘잉될 단결정 잉곳의 적어도 어느 한쪽 단면에 부착되어 상기 잉곳 절단시 휘어짐을 방지하는 가이드 빔으로서,
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 가이드 빔은 60~65%의 레진과 30~35%의 CaCO3를 포함하는 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 가이드 빔
4 4
와이어 쏘잉될 단결정 잉곳의 외주연에 마운터 빔을 부착시키는 단계; 및 상기 잉곳의 적어도 어느 한쪽 단면에 상기 잉곳 절단시 휘어짐을 방지하는 가이드 빔을 부착시키는 단계를 포함하며, 상기 가이드 빔은 측면에 비하여 상면과 하면이 넓은 판상 부재로서 상기 가이드 빔의 측면은 상기 잉곳의 외주연 형상을 따른 마주보는 두 곡면과 상기 두 곡면의 마주보는 가장자리끼리 연결하는 두 평면으로 이루어지며, 상기 가이드 빔의 하면을 상기 잉곳의 단면에 부착시키는 것을 특징으로 하는 단결정 잉곳의 마운팅 방법
5 5
삭제
6 6
제4항에 있어서, 상기 가이드 빔은 60~65%의 레진과 30~35%의 CaCO3를 포함하는 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 단결정 잉곳의 마운팅 방법
7 7
제4항에 있어서, 상기 가이드 빔의 하면에 에폭시를 도포하여 상기 잉곳의 단면에 부착하는 것을 특징으로 하는 단결정 잉곳의 마운팅 방법
8 8
제4항에 있어서, 상기 가이드 빔의 하면 중 상기 곡면 부위에 에폭시를 도포하여 상기 잉곳의 단면에 부착하는 것을 특징으로 하는 단결정 잉곳의 마운팅 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.