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태양전지 제조용 확산로

  • 기술번호 : KST2015056028
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요약 본 발명은 태양전지 제조용 확산로에 관한 것으로서, 웨이퍼에 반응가스를 균일하게 증착하는 공정 등에서 사용하는 확산로에 있어서, 상기 확산로는 내부에 빈 공간을 갖는 공정 튜브; 상기 공정 튜브 내부에 복수의 웨이퍼가 장착되는 공정 보트; 및 외부에서 상기 공정 튜브의 내부로 관통되어 형성되고, 상기 웨이퍼들 전체를 커버할 수 있는 길이로 상기 웨이퍼들에 인접되게 형성되며, 상기 웨이퍼들의 길이 방향으로 수평되게 분사되는 복수의 가스 분사구를 가지는 하나 이상의 가스 인입부를 포함하여 공정 보트에 장착된 모든 웨이퍼에 반응가스가 균일하게 증착되는 효과를 갖는다.또한, 본 발명을 사용하면 반응가스의 양이 많이 필요하지 않으므로 반응가스의 양을 줄일 수 있는 효과를 갖는다.또한, 본 발명을 사용하면 반응가스가 공정보트에 장착된 모든 웨이퍼에 균일하게 증착되므로 더미 웨이퍼의 수량을 감소시켜서 원하는 수량의 웨이퍼에 반응가스를 증착하기 위한 공정의 횟수를 줄일 수 있고, 장비의 가동효율을 상승시키는 효과를 갖는다.확산로, 증착, 웨이퍼
Int. CL H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/1864(2013.01) H01L 31/1864(2013.01)
출원번호/일자 1020080135853 (2008.12.29)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1508251-0000 (2015.03.27)
공개번호/일자 10-2010-0077806 (2010.07.08) 문서열기
공고번호/일자 (20150406) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.11.27)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 하만효 대한민국 서울특별시 서초구
2 이영현 대한민국 서울특별시 성동구
3 윤주환 대한민국 경기도 부천시 원미구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박병창 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 *, 동주빌딩 *층 팍스국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0900215-54
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0219337-88
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-1084454-26
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.08.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2014-0075194-14
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0804503-12
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.01.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0002254-47
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-0002255-93
11 등록결정서
Decision to grant
2015.03.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0168094-22
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼에 반응가스를 균일하게 증착하는 공정 등에서 사용하는 확산로에 있어서,상기 확산로는,내부에 빈 공간을 갖는 공정 튜브(20);상기 공정 튜브(20) 내부에 복수의 웨이퍼(50)가 장착되는 공정 보트(30); 및외부에서 상기 공정 튜브(20)의 내부로 관통되어 형성되고, 상기 웨이퍼(50)들 전체를 커버할 수 있는 길이로 상기 웨이퍼(50)들에 인접되게 형성되며, 상기 웨이퍼(50)들의 길이 방향으로 수평되게 분사되는 복수의 가스 분사구(11)를 가지는 하나 이상의 가스 인입부(10)를 포함하고, 상기 가스 인입부(10)는,상기 웨이퍼(50)들의 길이 방향에 수평되게 복수의 방향에서 반응가스가 분사되도록 복수가 상기 웨이퍼(50)에 인접하여 설치되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 확산로
2 2
제 1 항에 있어서,상기 가스 분사구(11)는,상기 가스 인입부(10)의 말단부로 갈수록 직경이 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 확산로
3 3
제 2 항에 있어서,상기 가스 인입부(10)에는,상기 가스 분사구(11)들의 피치가 상기 공정 보트(30)에 장착되는 웨이퍼(50)들의 피치와 동일 하게 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 확산로
4 4
삭제
5 5
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반응가스는,상기 웨이퍼(50)상에 불순물 영역을 형성하기 위한 불순물가스 또는 상기 불순물 가스를 이송을 돕는 반송자 가스 인것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 확산로
6 6
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반응가스는,산화막 또는 질화막을 형성하기 위한 산소, 수증기, 또는 질소인 것을 특징으로 하는 태양전지 제조용 확산로
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.