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1
(a) 0
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2
제1항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 제1폴리아크릴산의 혼합 중량비는 산화세륨 100 중량부 대비 0
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3
제1항에 있어서, 상기 (b) 단계에서 제2폴리아크릴산의 혼합 중량비는 산화세륨 분산액 100 중량부 대비 0
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4
제 1항에 있어서, 상기 (a)단계의 산화세륨은 비표면적이 5 m2/g 이상이며, 3nm 이상의 직경을 갖는 기공과 3nm 미만의 직경을 갖는 기공의 부피 분율이 8 : 2 ~ 2 : 8 범위인 것이 특징인 CMP 슬러리의 제조방법
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5
제 1항에 있어서, 상기 (a)단계의 산화세륨은 육방정계 탄산세륨을 소성하여 제조된 것이 특징인 CMP 슬러리의 제조방법
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6
제 1항에 있어서, 상기 (a)단계의 산화세륨은 결정립(crystallite)의 크기가 1 ~ 60 nm 범위인 것이 특징인 CMP 슬러리의 제조방법
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7
(i) 0
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8
제7항에 있어서, 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 것이 특징인 CMP 슬러리
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9
제7항에 있어서, 상기 산화세륨 분말 중 1~10㎛ 범위의 입도를 갖는 산화세륨 입자는 0
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10
제7항에 있어서, 상기 제1폴리아크릴산: 제2폴리아크릴산의 질량비는 30:70~70:30인 것이 특징인 CMP 슬러리
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11
제 7항에 있어서, 상기 (i)의 산화세륨 분말의 함량이 슬러리 100 중량부 당 0
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12
제7항에 있어서, 중량평균분자량이 30 ~ 500이고 하이드록시기(OH), 카르복실기 (COOH) 또는 둘 다를 포함하는 화합물을 더 포함하는 것이 특징인 CMP 슬러리
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13
제12항에 있어서, 상기 중량평균분자량이 30 ~ 500이고 하이드록시기(OH), 카르복실기 (COOH) 또는 둘 다를 포함하는 화합물은 시트레이트 (citrate)기 함유 화합물, 글루코네이트 (gluconate)기 함유 화합물, 말레이트(malate)기 함유 화합물, 타르타레이트(tartarate)기 함유 화합물, 2-하이드록시이소부티레이트 (2-hydroxyisobutyrate)기 함유 화합물, 아디페이트 (adipate)기 함유 화합물, 옥타노에이트(octanoate)기 함유 화합물, 숙시네이트(succinate)기 함유 화합물, 에틸렌디아민테트라아세테이트 (EDTA)기 함유 화합물, 글루타레이트(glutarate)기 함유 화합물, 메틸렌숙시네이트 (methylenesuccinate)기 함유 화합물, 만노즈(mannose), 글리세로-갈락토-헵토즈(glycero-galacto-heptose), 에리스로-만노-옥토즈(erythro-manno-octose), 아라비노-갈락토-논노즈(arabino-galacto-nonose), 및 글루타민(glutamine)으로 이루어진 군에서 선택되는 것이 특징인 CMP 슬러리
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14
제12항에 있어서, 상기 중량평균분자량이 30 ~ 500이고 하이드록시기(OH), 카르복실기 (COOH) 또는 둘 다를 포함하는 화합물이 CMP슬러리 중 연마재 100 중량부 대비 0
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15
제7항에 있어서, 일액형인 것이 특징인 CMP 슬러리
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