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챔버의 열처리 공정이 완료되면, 챔버의 도어가 개방되도록 제어하는 도어제어부;
챔버의 열처리 공정이 완료되면 언로딩모듈의 전단에 구비된 영상모듈이 상기 개방된 도어를 통해 노출된 챔버 내부의 웨이퍼 영상인 대상영상을 획득하도록 제어하는 영상제어부;
웨이퍼 불량 여부 판단의 기준이 되는 기준 영상과 상기 대상 영상을 비교하여 상기 웨이퍼의 불량 여부를 판단하는 판단부; 및
상기 웨이퍼가 양품인 경우 상기 열처리 공정이 수행된 웨이퍼를 외부로 인출하는 상기 언로딩모듈의 구동이 개시되도록 제어하는 구동제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 급속 열처리 챔버의 모니터링 장치
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제 1항에 있어서, 상기 구동제어부는,
상기 웨이퍼가 불량인 경우 알람모듈의 구동을 개시하는 것을 특징으로 하는 급속 열처리 챔버의 모니터링 장치
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제 1항에 있어서, 상기 판단부는,
상기 기준 영상에 대한 데이터가 저장되는 저장부;
상기 기준 영상 및 대상 영상의 데이터에 포함된 웨이퍼의 위치정보 또는 색상정보에 대한 특징점 정보를 각각 생성하는 특성정보생성부; 및
상기 각각 생성된 특징점 정보 간의 매칭을 통하여 상기 웨이퍼의 불량 여부를 판단하는 매칭판단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 급속 열처리 챔버의 모니터링 장치
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제 4항에 있어서, 상기 특징점 정보는,
웨이퍼의 에지에 대한 정보인 것을 특징으로 하는 급속 열처리 챔버의 모니터링 장치
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챔버의 열처리 공정이 완료되면, 챔버의 도어가 개방되도록 제어하는 도어제어단계;
챔버의 열처리 공정이 완료되면 언로딩모듈의 전단에 구비된 영상모듈이 상기 개방된 도어를 통해 노출된 챔버 내부의 웨이퍼 영상인 대상영상을 획득하도록 제어하는 영상제어단계;
웨이퍼 불량 여부 판단의 기준이 되는 기준 영상과 상기 대상 영상을 비교하여 상기 웨이퍼의 불량 여부를 판단하는 판단단계; 및
상기 웨이퍼가 양품인 경우 상기 열처리 공정이 수행된 웨이퍼를 외부로 인출하는 상기 언로딩모듈의 구동이 개시되도록 제어하는 구동제어단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 급속 열처리 챔버의 모니터링 방법
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제 7항에 있어서,
상기 웨이퍼가 불량인 경우 알람모듈의 구동을 개시하는 알람구동단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 급속 열처리 챔버의 모니터링 방법
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10
제 7항에 있어서, 상기 판단단계는,
상기 기준 영상 및 대상 영상의 데이터에 포함된 웨이퍼의 위치정보 또는 색상정보에 대한 특징점 정보를 각각 생성하는 특성정보생성단계; 및
상기 각각 생성된 특징점 정보 간의 매칭을 통하여 상기 웨이퍼의 불량 여부를 판단하는 매칭판단단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 급속 열처리 챔버의 모니터링 방법
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11
제 10항에 있어서, 상기 특징점 정보는,
웨이퍼의 에지에 대한 정보인 것을 특징으로 하는 급속 열처리 챔버의 모니터링 방법
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