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단결정 성장용 시드

  • 기술번호 : KST2015056255
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요약 본 발명은 단결정 성장용 시드를 개시한다. 본 발명에 따른 단결정 성장용 시드는, 제1길이만큼 단면적이 증가하다가 제2길이만큼 단면적이 일정하게 유지되는 디핑부; 및 상기 디핑부로부터 수평 및 수직 방향으로 연장되어 디핑부보다 큰 단면을 갖는 시드 헤드부를 포함하고, 상기 단면적이 증가하는 디핑부의 제1길이 구간은 디핑부의 중심축 방향으로 볼록한 라운드 외주면을 구비하고, 상기 디핑부와 시드 헤드부의 연결 코너 지점에 코너 지점 방향으로 볼록한 코너 라운드부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 잉곳의 하중에 의한 응력이 시드 헤드부와 디핑부의 연결 부위에 집중되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 시드가 융액에 디핑될 때 발생되는 슬립 전위를 최소화시킬 수 있고 발생된 슬립 전위의 상부 전파 범위를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 대구경의 단결정 잉곳 성장 공정을 안정적으로 수행할 수 있고, 슬립 전위의 발생을 억제할 수 있어 넥킹 공정의 시간 단축이 가능하여 단결정의 생산성을 향상시킬 수 있다. 쵸크랄스키 법, 실리콘 단결정, 시드(seed), 시드척(seed chuck), 슬립 전위
Int. CL C30B 29/06 (2006.01) C30B 15/36 (2006.01)
CPC C30B 15/36(2013.01) C30B 15/36(2013.01) C30B 15/36(2013.01)
출원번호/일자 1020090005098 (2009.01.21)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1105535-0000 (2012.01.05)
공개번호/일자 10-2010-0085683 (2010.07.29) 문서열기
공고번호/일자 (20120113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.21)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도연 대한민국 대구광역시 동구
2 김봉우 대한민국 경상북도 구미시
3 최일수 대한민국 경상북도 구미시
4 정승 대한민국 대구광역시 북구
5 문지훈 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2009-0040002-32
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2010-0034531-54
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0075866-66
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.03.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0205371-93
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0205370-47
8 등록결정서
Decision to grant
2011.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0622274-23
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1길이만큼 단면적이 증가하다가 제2길이만큼 단면적이 일정하게 유지되는 디핑부; 및 상기 디핑부로부터 수평 및 수직 방향으로 연장되어 디핑부보다 큰 단면을 갖는 시드 헤드부를 포함하고, 상기 단면적이 증가하는 디핑부의 제1길이 구간은 횡단면을 기준으로 보았을 때, 디핑부의 중심축 방향으로 볼록한 라운드 외주면을 구비하고, 상기 시드 헤드부의 하단과 디핑부의 상단이 연결되는 코너 부분에는 안쪽으로 볼록한 코너 라운드부를 구비하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 시드
2 2
제1항에 있어서, 상기 코너 라운드부의 곡률 반경은 3mm 내지 7mm이고, 상기 코너 라운드부의 너비는 3mm 내지 5mm인 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 시드
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1길이 구간의 라운드된 외주면과 제2길이 구간의 디핑부 외주면이 이루는 경사각은 20° 내지 35°인 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 시드
4 4
제1항에 있어서, 상기 디핑부는 제1길이 구간의 하단 끝 단면이 일정하게 유지되면서 연장된 막대부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 시드
5 5
제4항에 있어서, 상기 막대부의 지름은 2mm 내지 3mm인 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 시드
6 6
제1길이만큼 단면적이 증가하다가 제2길이만큼 단면적이 일정하게 유지되는 디핑부; 상기 디핑부의 제2길이 구간의 상단으로부터 제3길이만큼 연장되고 상부로 가면서 단면적이 증가하는 테이퍼부; 및 상기 테이퍼부로부터 상부로 제4길이만큼 연장되고 단면적이 일정하게 유지되는 시드 헤드부를 포함하고, 상기 단면적이 증가하는 디핑부의 제1길이 구간은 횡단면을 기준으로 보았을 때, 디핑부의 중심축 방향으로 볼록한 라운드 외주면을 구비하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 시드
7 7
제6항에 있어서, 상기 제2길이 구간의 디핑부 외주면과 테이퍼부의 외주면이 이루는 경사각은 145° 내지 160°인 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 시드
8 8
제6항에 있어서, 상기 제2길이 구간의 디핑부 외주면과 테이퍼 외주면이 만나는 연결 지점에 디핑부의 중심축 방향으로 볼록한 코너 라운드부가 구비되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 시드
9 9
제6항에 있어서, 상기 제1길이 구간의 라운드된 외주면과 제2길이 구간의 디핑부 외주면이 이루는 경사각은 20° 내지 35°인 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 시드
10 10
제6항에 있어서, 상기 디핑부는 제1길이 구간의 하단 끝 단면이 일정하게 유지되면서 연장된 막대부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 시드
11 11
제10항에 있어서, 상기 막대부의 지름은 2mm 내지 3mm인 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 시드
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.