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하나 이상의 웨이퍼로 구성되는 웨이퍼군에 대한 초기 세정 공정이 완료되면 상기 웨이퍼군의 상기 초기 세정 공정이 완료된 시간정보가 입력되는 입력부:
상기 완료시간 정보와 현재 시간 정보를 이용하여 상기 웨이퍼군의 리드타임(lead time)을 연산하여, 상기 웨이퍼군에 대한 최종 세정 공정이 진행되기 전까지의 리드 타임을 생성하는 연산부;
상기 웨이퍼군에 대한 상기 연산된 리드타임을 출력하는 출력부; 및
상기 최종 세정 공정 진행 전까지의 대상 웨이퍼군의 리드타임에 따라 상기 대상 웨이퍼 군의 상기 최종 세정 공정이 차등적으로 진행되도록 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 공정 리드 타임 관리 시스템
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제 1항에 있어서,
상기 웨이퍼군의 리드타임이 기준 경과시간을 초과하는 경우 이에 대한 메시지를 출력하는 알람부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 공정 리드 타임 관리 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 출력부는,
상기 초기 세정 공정이 완료된 후 진행되는 후속 단위 공정의 대상이 되는 웨이퍼군 정보가 입력되면, 상기 후속 단위 공정에 해당하는 상기 웨이퍼군의 리드타임을 선별하여 출력하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 공정 리드 타임 관리 시스템
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제 3항에 있어서, 상기 후속 단위 공정은,
웨이퍼 평탄도 검사 공정, 웨이퍼 표면 마킹 공정 또는 비쥬얼 검사 공정 중 하나 이상의 공정인 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 공정 리드 타임 관리 시스템
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5
제 3항에 있어서, 상기 출력부는,
상기 웨이퍼군의 후속 단위 공정의 진행 정도에 대한 상태 정보를 더 출력하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 공정 리드 타임 관리 시스템
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하나 이상의 웨이퍼로 구성되는 웨이퍼군에 대한 초기 세정 공정이 완료되면 상기 웨이퍼군의 상기 초기 세정 공정이 완료된 시간정보를 입력받는 입력단계;
상기 완료시간 정보와 현재 시간 정보를 이용하여 상기 웨이퍼군의 리드타임(lead time)을 연산하여 상기 웨이퍼군에 대한 최종 세정 공정이 진행되기 전까지의 리드 타임을 생성하는 연산단계;
상기 웨이퍼군에 대한 상기 연산된 리드타임을 출력하는 출력단계; 및
상기 최종 세정 공정 진행 전까지의 대상 웨이퍼군의 리드타임에 따라 상기 대상 웨이퍼군의 상기 최종 세정 공정이 차등적으로 진행되도록 제어하는 제어단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 공정 리드 타임 관리 방법
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제 8항에 있어서,
상기 웨이퍼군의 리드타임이 기준 경과시간을 초과하는 경우 이에 대한 메시지를 출력하는 알람단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 공정 리드 타임 관리 방법
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10
제 8항에 있어서, 상기 출력단계는,
상기 초기 세정 공정이 완료된 후 진행되는 후속 단위 공정의 대상이 되는 웨이퍼군 정보가 입력되면, 상기 후속 단위 공정에 해당하는 상기 웨이퍼군의 리드타임을 선별하여 출력하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 공정 리드 타임 관리 방법
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11
제 10항에 있어서, 상기 후속 단위 공정은,
웨이퍼 평탄도 검사 공정, 웨이퍼 표면 마킹 공정 또는 비쥬얼 검사 공정 중 하나 이상의 공정인 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 공정 리드 타임 관리 방법
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12
제 10항에 있어서, 상기 출력단계는,
상기 웨이퍼군의 후속 단위 공정의 진행 정도에 대한 상태 정보를 더 출력하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 공정 리드 타임 관리 방법
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제 8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따른 웨이퍼의 공정 리드 타임 관리 방법을 컴퓨터에게 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체
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