맞춤기술찾기

이전대상기술

PECVD 법에 기반한 박막 구조의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015056373
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 PECVD 법에 기반한 박막 구조의 제조방법이다. 본 발명은 플라즈마 강화 화학 증착(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition: PECVD) 공정에 기반한 박막 제조 방법에서, 적어도 2가지의 서로 다른 플라즈마 주파수를 사용하여 기재 상에 박막을 형성하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01)
출원번호/일자 1020090006063 (2009.01.23)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-0997110-0000 (2010.11.23)
공개번호/일자 10-2009-0014417 (2009.02.10) 문서열기
공고번호/일자 (20101130) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자 10-2006-0034356 (2006.04.17)
관련 출원번호 1020060034356
심사청구여부/일자 Y (2010.03.18)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박현정 대한민국 대전광역시 유성구
2 정지원 대한민국 충청남도 천안시 목천

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2009.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0047545-19
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2010-0171420-66
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0257137-80
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0516001-97
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.08.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0516002-32
8 등록결정서
Decision to grant
2010.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0520875-59
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
플라즈마 강화 화학 증착(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition: PECVD) 공정에 기반한 태양전지의 다층 구조 반사방지막 제조 방법에 있어서, 고주파수의 플라즈마 주파수만을 인가한 상태에서 제1 반사방지막을 형성하는 단계; 및 저주파수의 플라즈마 주파수만을 인가한 상태에서 굴절률이 상기 제1 반사방지막의 굴절률보다 낮은 제2 반사방지막을 형성하는 단계;를 포함하고 상기 고주파수의 플라즈마 주파수의 범위는 5 MHz ~ 50 MHz이고, 상기 저주파수의 플라즈마 주파수의 범위는 10 kHz ~ 500 kHz이며, 상기 고주파수의 플라즈마 주파수 및 상기 저주파수의 플라즈마 주파수는 플라즈마 강화 화학 증착 장치의 동일한 전극에 인가되며, 상기 제1 반사방지막을 형성하는 단계 및 상기 제2 반사방지막을 형성하는 단계에서, 상기 제1 반사방지막이 형성되는 반응 쳄버와 상기 제2 반사방지막이 형성되는 반응 쳄버가 서로 동일하며, 상기 플라즈마 강화 화학 증착 장치에 공급되는 플라즈마 발생 전력이 서로 동일한 다층 구조 반사방지막 제조 방법
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 고주파수의 플라즈마 주파수는 13
11 11
제 9 항에 있어서, 상기 고주파수의 플라즈마 주파수 및 상기 저주파수의 플라즈마 주파수가 인가되는 전극은 샤워헤드형 평판 전극인 다층 구조 반사방지막 제조 방법
12 12
제 9 항에 있어서, 상기 제1 반사방지막을 형성하는 단계 및 상기 제2 반사방지막을 형성하는 단계에서, 증착온도 및 증착압력이 서로 동일한 다층 구조 반사방지막 제조 방법
13 13
제 9 항에 있어서, 상기 제1 반사방지막을 형성하는 단계 및 상기 제2 반사방지막을 형성하는 단계에서, 상기 플라즈마 강화 화학 증착 장치에 공급되는 플라즈마 생성용 혼합가스의 비율이 서로 동일한 다층 구조 반사방지막 제조 방법
14 14
제 9 항에 있어서, 상기 제1 반사방지막 및 상기 제2 반사방지막은 실리콘 질화막인 다층 구조 반사방지막 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP04960134 JP 일본 FAMILY
2 JP19284791 JP 일본 FAMILY
3 KR1020070102764 KR 대한민국 FAMILY
4 US20070243386 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2007284791 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP4960134 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 US2007243386 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.