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배치타입 폴리셔

  • 기술번호 : KST2015056383
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 군집성 LLS가 제어되는 배치타입 폴리셔가 개시된다. 배치타입 폴리셔는 정반 상에 복수장의 웨이퍼가 부착되어 슬러리를 이용하여 폴리싱(polishing)되는 배치타입 폴리셔에 있어서, 상기 복수장의 웨이퍼 사이의 간격이 20mm 이상이여서, 상기 슬러리의 흐름이 정체를 피하여 원활히 유동될 수 있도록 한다. 이에 따라, 슬러리의 정체를 방지하여 균일하게 퍼지게 하여, 전영역에서 골고루 슬러리 공급이 이루어지게하며, 군집성 LLS가 원활하게 제어되어, 연마품질 향상에 기여할 수 있을 뿐만 아니라, 웨이퍼의 연마가 웨이퍼상에서 균일하게 이루어져서, 흠결이나 편평도 등의 향상에 기여할 수 있다. 배치타입 폴리셔, 슬러리, 유동, LLS
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC B24B 57/02(2013.01) B24B 57/02(2013.01)
출원번호/일자 1020090011061 (2009.02.11)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1040814-0000 (2011.06.03)
공개번호/일자 10-2010-0091730 (2010.08.19) 문서열기
공고번호/일자 (20110613) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.11)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 구영수 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0084717-88
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.04.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.05.19 수리 (Accepted) 9-1-2010-0031542-31
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.10.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0466895-16
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0838596-93
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.12.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0838597-38
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
8 등록결정서
Decision to grant
2011.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0290504-97
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
정반 상에 복수장의 웨이퍼가 부착되어 슬러리를 이용하여 폴리싱(polishing)되는 배치타입 폴리셔에 있어서, 연마블록; 및 상기 연마블록 하방에 부착되어 폴리싱을 수행하는 연마패드;를 포함하고, 상기 연마블록은 오각형 형태로 형성되고, 상기 복수장의 웨이퍼 사이의 간격이 20mm 이상이여서, 상기 슬러리의 흐름이 정체를 피하여 원활히 유동될 수 있도록 하는 배치타입 폴리셔
2 2
제1항에 있어서, 상기 연마블록은 그 단면의 형상이 중앙이 하방으로 내려온 형태로 형성되고, 상기 연마패드가 중앙을 향하도록 기울어져 부착되는 배치타입 폴리셔
3 3
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4 4
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5 5
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일 방향으로 회전하는 정반; 상기 정반위에 안착되는 복수의 웨이퍼; 상기 웨이퍼를 폴리싱하는 연마 패드; 상기 연마패드가 하부에 장착되는 연마 블록; 을 포함하며, 상기 복수장의 웨이퍼 사이의 간격이 20mm 이상이여서, 슬러리의 흐름이 정체를 피하여 원활히 유동될 수 있도록 하고, 상기 연마블록은 그 단면 형상이 중앙이 하방으로 내려온 오각형의 형태로서, 상기 연마패드의 부착시 상기 연마패드는 중앙을 향하도록 기울어져 부착되는 것을 특징으로 하는 배치타입 폴리셔
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8 8
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9 9
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.