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척 세척유니트

  • 기술번호 : KST2015056390
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  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 척의 상측에 진공을 형성하고 척의 미세홀을 통하여 DIW를 상측으로 배출시킴으로써 미세홀에 삽입된 파티클(particle)과 척에 부착된 파티클을 효과적으로 제거할 수 있는 효과를 가진다. 양면연마장치, 웨이퍼, 척, 브러쉬, 진공, 흡입
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/687(2013.01) H01L 21/687(2013.01)
출원번호/일자 1020090008773 (2009.02.04)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1020332-0000 (2011.02.28)
공개번호/일자 10-2010-0089495 (2010.08.12) 문서열기
공고번호/일자 (20110308) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.04)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재영 대한민국 경상북도 문경시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2009-0068873-16
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.07.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.08.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0052934-62
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.10.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0466892-79
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.12.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0839372-41
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0839370-50
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
8 등록결정서
Decision to grant
2011.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0105072-70
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼의 연마에 사용되는 다공성 척을 세척하기 위한 유니트에 있어서, 상기 다공성 척의 상측에 설치되어 다공성 척의 미세홀에 삽입된 파티클과 상기 미세홀을 통하여 상측으로 배출되는 DIW를 흡입하는 흡입관; 및 상기 흡입관과 연결되어 설치되고, 흡입관이 파티클과 DIW를 흡입할 수 있도록 진공을 형성하는 진공부재;를 구비하고, 진공부재는, 흡입관과 연결된 저장탱크; 저장탱크와 연결된 진공펌프; 및 저장탱크에 수용된 상기 파티클과 DIW를 선택적으로 배출하는 배출관;을 포함하는 것을 특징으로 하는 척 세척 유니트
2 2
제1항에 있어서, 회전모터에 의해 회전되는 프레임; 및 프레임의 하면에 설치된 브러쉬;를 포함하고, 상기 흡입관은 프레임을 관통하여 설치된 것을 특징으로 하는 척 세척유니트
3 3
제2항에 있어서, 흡입관에 의한 흡입력을 높이기 위하여 브러쉬는 진공관의 주위를 둘러싸도록 설치된 것을 특징으로 하는 척 세척 유니트
4 4
삭제
5 5
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 흡입관은 척의 상면과 접촉하지 않는 것을 특징으로 하는 척 세척 유니트
6 6
삭제
7 7
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.