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곡면을 갖는 스탬퍼의 제작방법 및 제작장치

  • 기술번호 : KST2015056444
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작방법 및 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작장치에 관한 것으로서, 곡면을 갖는 스탬퍼 제작시 미세패턴의 손상을 방지함은 물론, 복잡한 미세패턴이 형성된 스탬퍼를 얻을 수 있는 방법을 제공할 수 있는 발명에 관한 것이다.이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 스탬퍼에 소정의 미세패턴을 형성하는 단계와;미세패턴이 형성된 평면을 갖는 스탬퍼를 압축하여 중간단계 곡면을 갖는 스탬퍼를 형성하는 제1차 성형단계와; 상기 제1차 성형단계에서 형성된 스탬퍼가 최종단계 곡면을 갖도록 상기 스탬퍼에 압력을 가하는 제2차 성형단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작방법을 제공하고 있다. 스탬퍼, 미세패턴, 중간단계곡면, 최종단계곡면, 프레스금형, 사출금형
Int. CL B29C 33/38 (2006.01) B23P 17/02 (2006.01) B21D 37/20 (2006.01) C25D 1/10 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020090008959 (2009.02.04)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1549006-0000 (2015.08.26)
공개번호/일자 10-2010-0089626 (2010.08.12) 문서열기
공고번호/일자 (20150901) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.11.27)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정석재 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 김영배 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 방해철 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2009-0069964-41
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-1081174-22
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.08.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.12.05 수리 (Accepted) 1-1-2014-1188545-23
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0009359-65
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0108116-54
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0367498-85
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2015-0367499-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
12 등록결정서
Decision to grant
2015.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0492578-85
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
스탬퍼에 소정의 미세패턴을 형성하는 단계와;미세패턴이 형성된 평면을 갖는 스탬퍼를 압축하여 중간단계 곡면을 갖는 스탬퍼를 형성하는 제1차 성형단계와;상기 제1차 성형단계에서 형성된 스탬퍼가 최종단계 곡면을 갖도록 상기 스탬퍼에 압력을 가하는 제2차 성형단계를 포함하고,상기 제1차 성형단계는 상기 스탬퍼의 미세패턴의 손상을 방지하기 위하여 상기 미세패턴이 수용되는 소정의 캐비티를 포함하는 프레스금형의 압축작용에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 제1차 성형단계에 사용되는 프레스금형은 상기 중간단계 곡면형태의 제1 캐비티를 구비하며 상기 평면을 갖는 스탬퍼가 안착되는 제1프레스금형과;상기 제1프레스금형과 이격되어 배치되며 상기 제1캐비티로 삽입되는 돌출부 및 상기 돌출부에 형성되어 제1차 성형시 상기 스탬퍼의 미세패턴이 수용되어 보호되는 제2캐비티를 포함하는 제2프레스금형을 포함하되,상기 제1차 성형단계는 상기 제2프레스금형을 상기 제1프레스금형 방향으로 이동시킴으로써 상기 미세패턴이 형성되는 스탬퍼부분이 상기 제1차 캐비티에 대응되는 중간단계곡면형태로 변형되도록 하는 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작방법
4 4
제3항에 있어서,상기 제1차 성형단계는 상기 제2프레스금형의 돌출부가 상기 제1프레스 금형의 제1캐비티에 삽입된 후 상기 돌출부와 상기 제1캐비티의 내벽면 사이의 거리가 상기 곡면을 갖는 스탬퍼의 두께에 대응되는 상태가 되면 완료되는 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작방법
5 5
제1항에 있어서,상기 제2차 성형단계는 상기 최종단계곡면에 대응되는 형상이 형성된 금형에 제1차 성형단계를 거친 중간단계곡면을 갖는 스탬퍼를 장착하는 단계와;상기 최종단계곡면이 형성된 금형에 소정의 유체를 사출시켜 상기 중간단계곡면이 상기 최종단계곡면으로 변형되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작방법
6 6
제5항에 있어서,상기 제2차 성형단계에 사용되는 금형은 상기 최종단계곡면에 대응되는 형상이 형성되는 제1사출캐비티를 구비하는 제1사출금형과;상기 제1사출금형의 제1사출캐비티와 함께 상기 유체의 이동을 안내하는 유체유동통로를 형성하는 제2사출캐비티를 구비하는 제2사출금형을 포함하되,상기 제2차 성형단계는 상기 제1사출금형에 상기 제1차 성형단계에서 형성된 곡면을 갖는 스탬퍼를 장착하는 단계와;상기 제1사출금형과 상기 제2사출금형을 밀착시켜 제1사출캐비티와 제2사출캐비티에 의하여 유체유동통로를 형성하는 단계와;상기 유체유동통로 방향으로 유체를 분사하여 상기 중간단계곡면을 갖는 스탬퍼가 상기 제1사출캐비티에 밀착되게 함으로서 최종단계곡면을 갖도록 변형시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작방법
7 7
제5항 또는 제6항에 있어서,상기 유체는 압축공기인 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작방법
8 8
소정의 미세패턴을 구비하며 평면형태로 형성된 스탬퍼에 기계적인 힘을 가하여 중간단계곡면을 갖는 스탬퍼로 변환하는 제1차 성형단계를 수행하는 프레스금형과;상기 프레스 금형에 의하여 변형되어 상기 중간단계곡면을 갖는 스탬퍼가 소정의 유체압력에 의하여 최종단계곡면을 갖도록 변형되는 제2차 성형단계를 수행하기 위한 압축공기가 주입되는 사출금형을 포함하고,상기 사출금형은, 최종단계곡면에 대응되는 형상이 형성되는 제1사출캐비티를 구비하는 제1사출 금형과;상기 제1사출금형의 제1사출캐비티와 함께 상기 유체의 이동을 안내하는 유체유동통로를 형성하는 제2사출캐비티를 구비하는 제2사출금형을 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작장치
9 9
제8항에 있어서,상기 프레스 금형은 상기 중간단계곡면에 대응되는 형상을 갖는 제1캐비티를 구비하며 상기 평면형태로 형성된 스탬퍼가 안착되는 제1프레스금형과;상기 제1프레스금형과 이격되어 배치되며 상기 제1캐비티로 삽입되는 돌출부 및 상기 돌출부 사이에 형성되어 제1차 성형시 상기 스탬퍼의 미세패턴이 수용되어 보호되는 제2캐비티를 포함하는 제2프레스금형을 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작장치
10 10
제9항에 있어서,상기 돌출부는 상기 제2캐비티를 둘러싸는 형태로 마련되어, 상기 제1차 성형단계 수행시 상기 미세패턴이 형성되지 않은 스탬퍼의 면과 접촉하는 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작장치
11 11
삭제
12 12
제8항에 있어서,상기 사출금형에 사용되는 유체는 압축공기인 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작장치
13 13
제8항에 있어서,상기 제1사출금형은 상기 유체유동통로와 연결되어 상기 유체가 유입되는 유체유입구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면을 갖는 스탬퍼의 제작장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.